[实用新型]一种装卸基片架用平移传动架

说明书

技术领域

本实用新型属于玻璃镀膜设备领域，尤其涉及一种装卸基片架用平移传动架。

背景技术

目前平面磁控溅射镀膜设备装配的回转或平移传动架及回线传动架，在维护更换基片架的过程中，基本上是从回转或平移传动架上进行操作。

在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：这种维护方式在生产过程中，维护人员与生产操作人员存在交叉作业，既影响设备的正常运作，也可能会对在线生产人员带来安全事故。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种不影响生产线其他基片架正常输送、可快速更换基片架的装卸基片架用平移传动架。

为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种装卸基片架用平移传动架，包括呈U型的输送基片架的输送轨道、将输送轨道分隔成两部分的隔墙，所述输送轨道的输出端设有回线架，所述回线架的输出端设有平移架，所述平移架包括架体，所述架体高度与回线架高度相同，架体宽度大于回线架的宽度，架体上端设有垂直基片架运动方向的导轨，导轨上设有可支撑基片架的滑块，所述滑块滑动套装在所述导轨上。

所述基片架底部设有与滑块相适配的卡槽。

所述架体的宽度使得基片架通过滑块在导轨滑动时能够与回线架上相邻的基片架位置错开。

所述架体宽度是基片架宽度的3～4倍。

还包括镀膜机，所述镀膜机和平移架位于隔墙的同一侧。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果，正常生产过程，基片架通过平移架正常输送，保证基片架的正常运行；若需要对可能存在异常的基片架进行维护时，则通过平移架上的导轨和滑块移动基片架，将基片架与其他基片架脱离，并对基片架快速更换，更换方便，不影响生产线其他基片架的正常输送，避免维护人员在更换基片架时同生产操作人员交叉作业，提高安全性。

附图说明

图1为本实用新型实施例中提供的装卸基片架用平移传动架的结构示意图；

图2为图1传动架另一种工作状态的结构示意图；

图3为图1平移架的结构示意图；

图4为图3平移架侧面图；

上述图中的标记均为：1、输送轨道，2、隔墙，3、镀膜机，4、基片架，5、回线架，6、平移架，61、架体，62、导轨，63、滑块。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。

参见图1，一种装卸基片架用平移传动架，包括呈U型的输送基片架4的输送轨道1、将输送轨道1分隔成两部分的隔墙2，输送轨道1的输出端设有回线架5，回线架5的输出端设有平移架6，如图3-4所示，平移架6包括架体61，架体61高度与回线架5高度相同，架体61宽度大于回线架5的宽度，架体61上端设有垂直基片架4运动方向的导轨62，导轨62上设有可支撑基片架4的滑块63，滑块63滑动套装在导轨62上。

基片架4底部设有与滑块63相适配的卡槽，便于基片架4与滑块63的定位，方便基片架4通过滑块63滑动，防止滑块63从基片架4脱离。

架体61的宽度使得基片架4通过滑块63在导轨62滑动时能够与回线架5上相邻的基片架4位置错开。

架体61宽度是基片架4宽度的3～4倍，使更换基片架4使能够顺利与相邻基片架4脱离，脱离之后进行基片架4更换操作。

还包括镀膜机3，镀膜机3和平移架6位于隔墙2的同一侧。

正常生产过程，基片架4通过平移架6正常输送，如图1所示，保证基片架4的正常运行；若需要对可能存在异常的基片架4进行维护时，则通过平移架6上的导轨62和滑块63移动基片架4，将基片架4与其他基片架4脱离，如图2所示，并对基片架4快速更换，更换方便，不影响生产线其他基片架4的正常输送，避免维护人员在更换基片架4时同生产操作人员交叉作业，提高安全性。

上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。