[实用新型]旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材

权利要求书

1.旋转阴极磁棒，包括磁棒支架及分布在其表面的磁铁，其特征在于，

所述磁铁包括设置在所述磁棒支架端部区的有按照至少一种排列曲率分布的第一组磁铁；

以及设置在所述磁棒支架中部区的第二组磁铁；

所述第一、第二组磁铁由多块方形磁铁组成。

2.根据权利要求1所述的旋转阴极磁棒，其特征在于，所述第一、第二组磁铁中的磁铁分别固定排列在所述磁棒支架的表面，磁铁表面按照圆弧轮廓设计。

3.根据权利要求2所述的旋转阴极磁棒，其特征在于，所述第一组磁铁中的多块磁铁在磁棒支架端部区按不同排列曲率排列成在V型和┕┙型之间变化的任一弧度的U型。

4.根据权利要求3所述的旋转阴极磁棒，其特征在于，所述第二组磁铁包括奇数N列磁场方向垂直于所述磁棒支架表面的磁铁以及偶数N-1列磁场方向平行于所述磁棒支架表面的磁铁；磁场方向垂直于所述磁棒支架表面的N列磁铁与磁场方向平行于所述磁棒支架表面的N-1列磁铁交替且平行分布在所述磁棒支架的中部区; 磁场方向垂直于所述磁棒支架表面的N列磁铁中的相邻列磁铁极性相反，而同一列上相邻磁铁极性相同；磁场方向平行于所述磁棒支架表面的N-1列磁铁中的相邻列磁铁极性相反，而同一列上相邻磁铁极性相同。

5.根据权利要求4所述的旋转阴极磁棒，其特征在于，所述磁棒支架为非磁性材料制成的棒。

6.根据权利要求5所述的旋转阴极磁棒，其特征在于，所述第一组磁铁中的磁铁尺寸比所述第二组磁铁中的磁铁尺寸小。

7.安装有前述权利要求2-6之一旋转阴极磁棒的旋转靶材，所述靶材内部有靶材背管和一根或两根设置于旋转靶材内部的磁棒，其特征在于，按照圆弧轮廓排列的第一、第二组磁铁的圆弧面半径小于靶材背管的内表面圆弧面半径。

8.根据权利要求7所述的旋转靶材，其特征在于，所述第一组磁体构成的弯曲磁场平行于靶材表面方向的磁场强度为所述第二组磁铁构成的平行磁场平行于靶材表面方向的磁场强度的20%~40%。

9.根据权利要求8所述的旋转靶材，其特征在于，所述第二组磁铁构成的平行磁场平行于靶材表面方向的最大磁场强度为300-1200高斯。

10.根据权利要求9所述的旋转靶材，所述弯曲磁场及平行磁场的磁场强度可通过选用不同的磁铁材料型号、宽度和厚度来调节。