[实用新型]一种掩模板及掩模组件有效
| 申请号： | 201420232300.8 | 申请日： | 2014-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN203834005U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 谢明哲;谢春燕;刘陆 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 模板 模组 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩模板，其特征在于，包括：第一子掩模板和第二子掩模板；
所述第一子掩模板和所述第二子掩模板均包括掩模板本体和设置在所述掩模板本体上的蒸镀孔；所述第一子掩模板和所述第二子掩模板上的所述蒸镀孔尺寸相等且完全重叠；
其中，所述第一子掩模板和所述第二子掩模板的所述掩模板本体的材料均为具有预定刚性的塑胶材料，且厚度为5～150μm。
2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板本体的材料包括聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚醚酰亚胺中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第一子掩模板和所述第二子掩模板的厚度相等。
4.根据权利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述第一子掩模板和所述第二子掩模板的厚度为5～20μm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的掩模板，其特征在于，所述第一子掩模板和所述第二子掩模板之间的间距为0～5μm。
6.一种掩模组件，其特征在于，包括权利要求1至5任一项所述的掩模板、以及用于固定拉平所述掩模板的掩模框。
7.根据权利要求6所述的掩模组件，其特征在于，所述掩模框包括位于相对两侧的夹紧部分，所述夹紧部分夹紧所述掩模板的相对两侧边缘。
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