[实用新型]一种双面曝光装置有效
申请号: | 201420218773.2 | 申请日: | 2014-04-30 |
公开(公告)号: | CN203930327U | 公开(公告)日: | 2014-11-05 |
发明(设计)人: | 刘维军;郭宝贵 | 申请(专利权)人: | 遂宁市维海电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人: | 袁英 |
地址: | 629000 四川省遂*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双面 曝光 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种双面曝光装置。
背景技术
在FPC板制造工艺中,主要有FPC板的清洗、印刷(烘烤)、曝光显影、图像电镀极大工序。其中,在曝光显影工序中有一道外层曝光的工序,该工序使用一种手动曝光机。该手动曝光机包括一个玻璃台面,用以放置待曝光的FPC板,以及一个贴膜层,用以贴敷定位所述FPC板。玻璃台面与贴敷膜层之间,还设有抽气口,工作时,先将FPC板放置于所述玻璃台面上,再将贴敷膜层贴敷在所述FPC板的表面,然后通过所述抽气口抽气,开启光源,对待曝光的FPC板的下表面进行曝光。此装置仅能完成FPC板的单面曝光,对于需要双面曝光的FPC板需要进行两次曝光操作,效率低,耗时长。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种方便装载、提高曝光效率的双面曝光装置。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种双面曝光装置,它包括上层装载框架、下层装载框架、以及依次连接为一体的曝光箱和装载箱,曝光箱和装载箱上均设置有用于安装上层装载框架的上层水平导轨,曝光箱和装载箱上均设置有用于安装下层装载框架的下层水平导轨,曝光箱位于上层水平导轨的上侧和下层水平导轨的下侧均设置有曝光光源,所述的上层装载框架和下层装载框架结构相同,上层装载框架和下层装载框架均包括上框架和下框架,上框架和下框架通过设置于后侧面上的合页连接为一体,上框架的底面上设置有上透光板,下框架的顶面上设置有容置上框架的凹槽,该凹槽的底面上设置有下透光板,下框架内部设置有抽真空通道,下框架位于上透光板和下透光板之间的部分上设置有抽真空气孔,下框架上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头,抽真空接头通过抽真空通道与抽真空气孔连通,所述的下框架的左右两侧均设置有水平凸棱,上层装载框架的水平凸棱滑动安装于曝光箱和装载箱的上层水平导轨内,下层装载框架的水平凸棱滑动安装于曝光箱和装载箱的上层水平导轨内。
所述的上层装载框架和下层装载框架的上框架的前端面上均安装有把手。
所述的上层装载框架和下层装载框架的上框架的前端面设置有凸块,下框架上设置有与凸块相配合的缺口,凸块的前端面与下框架的前端面相平齐,把手安装于凸块的前端面上。
本实用新型具有以下优点:本实用新型可以对薄板两个表面贴附的感光膜同时进行曝光,从而提高了曝光效率,装载框架的结构设计使得装载装置与曝光光源安装结构为分体结构,装载工作方便、容易进行,同时能够满足真空条件的工况需求。两个平行设置的上层装载框架和下层装载框架能够交替进行曝光,从而节省了取、装料操作对曝光效率的影响,同样提高了效率。
附图说明
图1 为本实用新型的结构示意图
图2 为本实用新型的装载框架的俯视结构示意图
图3 为图2沿A-A截面的剖视图
图4 为本实用新型的下框架的剖视结构示意图
图5 为本实用新型另一种工作状态的结构示意图
图中,1-上层装载框架,2-曝光箱,3-装载箱,4-上层水平导轨A,5-上层水平导轨B,6-曝光光源,7-合页,8-上透光板,9-凹槽,10-下透光板,11-抽真空气孔,12-抽真空接头,13-水平凸棱,14-把手,15-凸块,16-缺口,17-上框架,18-下框架,19-下层装载框架,20-下层水平导轨A,21-下层水平导轨B。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的描述,本实用新型的保护范围不局限于以下所述:
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