[实用新型]用于卧式外点火装置的定位装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造技术领域，特别涉及一种用于热处理设备的卧式外点火装置的定位装置。

背景技术

在半导体立式热处理设备中，有一个外点火装置与工艺腔室相连，工艺气体从外点火装置中的进气管进入主工艺腔室，外点火装置中有加热器将工艺气体加热以及进行一定的反应，外点火装置的腔室与工艺腔室通过过渡管相连。

图1是现有立式工艺腔室与卧式外点火装置的连接示意图，如图1所示，主工艺腔室21与外点火装置22通过石英法兰连接部25相连，外点火装置22内具有外点火腔室26，外点火腔室26固定在圆环状加热器23之中，加热器23固定在环状水冷却装置24之中。

热处理设备在工作过程中，工艺腔室21和外点火腔室26要保证密封，这样在石英法兰连接部25处就要有密封圈进行密封，并且要保证两处的石英法兰定位精度大，安装准确，保证安装顺利以及密封的条件。由于石英材料为脆性材料，不能承受较大变形，因此需要一个定位装置来移动外点火腔室26以达到良好的定位精度，确保顺利安装以及密封。

基于不同结构的外点火装置也有不同的定位装置，目前，基于卧式外点火装置的卧式定位装置，是采用驱动块与驱动轴的方式，实现空间三个方向上的移动调节以及定位。然而，现有装置结构复杂，安装、拆卸和调节过程都很不方便。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述技术问题，而提供一种卧式外点火装置的定位装置，用以实现卧式外点火装置的精确定位。

本实用新型提供的用于卧式外点火装置的定位装置，其包括：

圆柱件，可转动地安装于外点火装置底部；

长杆，安装于圆柱件上并可以圆柱件为轴转动；

中空杆，套接于长杆外，其具有穿入紧固件，用于穿入中空杆以紧固长杆；

底板，与中空杆相固定；

安装板，用于与外点火装置的水冷却装置相固定；

导向轴，固定于底板并贯穿安装板，或固定于安装板并贯穿底板，使安装板沿着导向轴上下位移；

调节螺柱，固定于底板并抵贴安装板或水冷却装置，或固定于安装板并抵贴底板或外点火装置，其抵贴处具有调节螺母，用于调节安装板与底板的间距。

进一步地，该外点火装置底部固设有圆柱套筒，该圆柱件可转动地安装于该圆柱套筒内。

进一步地，该长杆为长圆杆，该中空杆为中空圆杆，该长圆杆和中空圆杆可以自身为轴转动。

进一步地，该长圆杆上开设有横向长槽，该中空圆杆上开设有圆孔，一限位件插入圆孔及横向长槽以对长圆杆和中空圆杆的相对位移进行限位。

进一步地，该横向长槽贯穿于长圆杆的前后两侧，该圆孔贯穿于中空圆杆的前后两侧且后侧为螺纹孔，该限位件为限位螺杆，其插入圆孔和长圆杆两侧横向长槽后与螺纹孔螺纹连接固定。

进一步地，该底板或安装板上设有直线轴承，该导向轴贯穿直线轴承。

进一步地，该导向轴具有至少两根，其中至少一根导向轴在其贯穿处具有锁紧螺母，用于固定安装板与底板的间距。

进一步地，该安装板和/或底板还设有高度定位块，一拧紧螺钉插入该高度定位块及安装板、或插入该高度定位块及底板、或插入安装板和底板各自的高度定位块，以固定安装板与底板的间距。

进一步地，该安装板和底板设有一对高度调节块和高度定位块，该高度调节块上开设有纵向长槽，该高度定位块上开设有螺纹孔，一拧紧螺钉插入该纵向长槽及螺纹孔以固定安装板与底板的间距。

进一步地，该圆柱件上固设有角度盘，该角度盘上开设有弧形槽，定位螺钉穿过弧形槽并固定于外点火装置底部，用于对长杆以圆柱件为轴的转动限位于该弧形槽范围内。

进一步地，该外点火装置底部固设有固定板，该定位螺钉固定于该固定板上。

进一步地，该底板向下设有数个滚轮并抵贴外点火装置底部。

本实用新型提供的卧式外点火装置的定位装置，具有以下技术效果：

1.本实用新型的定位装置可以让点火腔室实现旋转角度、轴向以及高度的调整和定位；

2.本实用新型的定位装置，通过导向轴、调节螺柱以及锁紧螺母或拧紧螺钉实现轴向、径向和高度的定位，定位效果优异；

3.本实用新型的定位装置，通过长杆上的横向长槽、高度调节块上的纵向长槽以及角度盘上的弧形槽，可以从纵向、横向和旋转方向的调整范围给予限定，限位效果优异；

4.本实用新型的定位装置结构简单、安装方便，可以摆出很大角度，实现点火腔室的水平抽取，以满足装卸要求。

附图说明