[实用新型]一种退火炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种退火炉，尤其涉及半导体引线框架用铜卷退火时用到的退火炉。

背景技术

半导引线框架是指用于连接半导体集成块内部芯片的接触点和外部导线的薄板金属框架，它的生产原料主要是铜卷。常规的半导体引线框架主要有两种制作工艺，一种蚀刻法，一种是模具冲压法。蚀刻法是用化学物质蚀刻掉材料的一部分而制成产品，多适用于小规模生产；模具冲压法，是通过模具的冲压力冲压间歇传送的薄板材料而制成，多适用于大规模生产。模具冲压法一般有以下工艺步骤：制造出厚度和宽度符合要求的铜卷、用冲床冲压铜卷成型半导体引线框架、对成型的半导体引线框架进行表面处理、对表面处理后的半导体引线框架切断成型，最后进行检片包装。铜卷的制造是半导体引线框架生产的第一道工序，铜卷的制造主要有电解铜清洗、挤压、轧制、退火、精轧和剪边。而退火又是这几道工序中非常重要的工序，其直接影响着后续工艺能否正常成型，影响半导体引线框架的成材率。

授权公告号为CN203095860U，授权公告日为2013年7月31日的中国实用新型专利公开了一种电退火炉，包括前端开口的退火炉壳体和铰接于退火炉壳体开口端的炉盖所构成的密闭腔体，其特征在于，它还包括陶瓷纤维层、加热元件及热电偶，所述陶瓷纤维层围绕所述退火炉壳体的内壁设置，所述加热元件设于所述退火炉壳体的底部及两个侧壁的陶瓷纤维层之上；所述热电偶经退火炉壳体的上壁和上壁处的陶瓷纤维层贯穿至所述密闭腔体内。该结构简单，通过在退火炉内加设陶瓷纤维层和热电偶，达到了腔体内保温及温度监控的目的。从而提高了产品的合格率且使用方便。但是将该实用新型用于半导体引线框架铜卷退火时，由于铜卷比较薄，在放入退火炉体内时，放在炉体上层的铜卷由于自身的重力会将放在炉体下层的铜卷压出卷边和折叠边，导致铜卷报废；该实用新型的加热元件位于炉体的四周，通过加热元件的辐射作用将热量辐射到需要退火的材料上，在对铜卷进行退火时，位于外围的铜卷先受热，然后才是位于中心的铜卷受热，这样就会出现受热不均的缺陷铜卷退火效果较差，导致半导体引线框架的报废率提高。

实用新型内容

为了克服现有退火炉用于半导体引线框架用铜卷退火时被压出卷边和折叠边的缺陷，本实用新型提供了了一种退火炉，该退火炉将铜卷隔离开来，防止铜卷相互挤压，从而有效克服了铜卷被压出卷边和折叠边的缺陷。

一种退火炉，包括退火炉壳体、陶瓷纤维层和加热元件，所述陶瓷纤维层设置在退火炉壳体的内壁，加热元件设置在陶瓷纤维层上，其特征在于：所述退火炉壳体上设置有多个铜卷分隔装置，该铜卷分隔装置包括隔板和螺杆，在退火炉壳体和陶瓷纤维层上设置有螺纹孔，螺杆通过螺纹孔穿过退火炉壳体和陶瓷纤维层，螺杆一端位于退火炉壳体外部，另一端伸出陶瓷纤维层，隔板连接在螺杆伸出陶瓷纤维层的一端上。

隔板铰接在螺杆上，在隔板与螺杆之间设置一个拉簧，拉簧的一端连接在螺杆上，另一端连接在隔板上。

所述铜卷分隔装置为偶数个，两两对应设置在退火炉壳体上。

所述加热元件包括中心加热元件和周围加热元件，中心加热元件位于退火炉壳体底部的陶瓷纤维层的中心位置，中心加热元件垂直设置在位于退火炉壳体底部的陶瓷纤维层上，周围加热元件位于所述退火炉壳体底部和两个侧壁的陶瓷纤维层上，周围加热元件与中心加热元件相互垂直设置。

中心加热元件包括一根中心管、四根边缘管和外壳，四根边缘管围绕中心管设置，中心管和边缘管上均缠绕有电阻丝，电阻丝与中心管之间以及电阻丝与边缘管之间用绝缘材料层隔开，中心发热管和边缘发热管包覆于外壳内，外壳是用导热材料制成的壳体。

导热材料为铝板，绝缘材料层为云母纸层或者保温毡棉层。

所述周围加热元件包括由两侧退火炉管排和底部退火炉管排组成的退火管排，两侧退火炉管排位于退火炉壳体底部的陶瓷纤维层上，两侧退火炉管排位于退火炉壳体两侧壁的陶瓷纤维层上，两侧退火炉管排和底部退火炉管排外侧包覆有导热层，导热层外侧设置有穿有绝缘瓷珠的电阻丝。

导热层为耐高温铸铁板导热层。

本实用新型具有以下优点：