[实用新型]一种柔性OLED专用薄膜封装设备

权利要求书

1.一种柔性OLED专用薄膜封装设备，它主要包括：进口连接腔、转换腔、无机沉积模块、过渡腔、出口连接腔、有机沉积模块、系统电源及控制柜，其特征在于所述的进口连接腔（1）通过模块化连接着第一转换腔（2）；所述第一转换腔（2）通过中间起着传送基片作用的过渡腔（4）连接着第二转换腔（8）；所述第一转换腔（2）和第二转换腔（8）的上下分别各连接着带有根据柔性OLED专用薄膜封装工艺要求选择相应镀膜模块的无机沉积模块（3）和有机沉积模块（6）；所述第一转换腔（2）和第二转换腔（8）的腔体与镀膜模块之间由两转换腔上面的各自电控阀门隔离，并相互形成独立的气氛环境。

2.根据权利要求1所述的柔性OLED专用薄膜封装设备，其特征在于所述的第一转换腔（2）和第二转换腔（8）主要由真空腔体（21）、电控阀门（22）、支架（23）组成；所述的真空腔体（21）由铝合金或不锈钢材质密封制成，且所述真空腔体（21）安放在支架（23）上面；真空腔体（21）的四个面都有电控阀门（22）与其它腔体模块连接，并且各个腔体可独立成不同真空度及气氛环境。

3.根据权利要求1所述的柔性OLED专用薄膜封装设备，其特征在于所述的无机沉积模块（3）主要由无机真空腔体（31）、预备腔体（32）、支架（33）、真空泵系统（34）组成；所述的无机真空腔体（31）及预备腔体（32）由铝合金或不锈钢材质密封制成，且两个腔体均由支架（23）支撑；所述真空泵系统（34）与无机真空腔体（31）以及预备腔体（32）相连接，并根据不同的无机镀膜工艺要求被抽成不同真空度。

4.根据权利要求1所述的柔性OLED专用薄膜封装设备，其特征在于所述的有机沉积模块（6）主要由有机真空腔体（61）、预备腔体（62）、支架（63）、真空泵系统（64）组成；所述的有机真空腔体（61）及预备腔体（62）由铝合金或不锈钢材质密封制成，两个腔体相互连接在一起并由支架（63）支撑；所述真空泵系统（64）与有机真空腔体（61）、预备腔体（62）相连接，并根据不同的无机镀膜工艺要求抽成不同真空度。