[实用新型]一种多腔室石墨沉积装置及化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种多腔室石墨沉积装置，其特征在于，包括收尘机构、具有两个以上沉积室的沉积机构以及用于盛放固体原料并向所述沉积室供送气态原料的原料供给机构，所述收尘机构设有用于收集所述沉积室逸出的粉尘的收尘容器以及用于供所述沉积室逸出的粉尘通过并流向所述收尘容器的收尘通道。

2.根据权利要求1所述的多腔室石墨沉积装置，其特征在于，所述收尘机构还包括用于将所述沉积室逸出的粉尘导向所述收尘通道的导流机构。

3.根据权利要求2所述的多腔室石墨沉积装置，其特征在于，所述导流机构包括倾斜设置在所述沉积室的出气孔旁的导流主板，所述导流主板与所述出气孔所在的沉积室壁面成15～60度角。

4.根据权利要求3所述的多腔室石墨沉积装置，其特征在于，所述导流机构还包括设置在所述导流主板两侧的导流侧板，所述导流主板与所述导流侧板形成的导流腔位于所述出气孔的上方。

5.根据权利要求2所述的多腔室石墨沉积装置，其特征在于，所述收尘容器包括第一收尘容器、第二收尘容器，所述收尘通道包括供所述沉积室逸出的粉尘通过并流向所述第一收尘容器的第一收尘通道、用于供未被第一收尘容器收集的粉尘通过并流向第二收尘容器的第二收尘通道，所述导流机构用于将从所述沉积室逸出的粉尘导向第一收尘通道。

6.根据权利要求5所述的多腔室石墨沉积装置，其特征在于，所述收尘机构包括下部与所述沉积室导通的收料盒、大体水平设置在所述收料盒中作为第一收尘容器的收料板、设置在所述收料板下方作为第二收尘容器的收尘桶，所述收尘桶的上端口与所述收料盒的内腔导通，所述收料板的边缘与所述收料盒侧板内壁之间形成作为第一收尘通道的间隙，所述收料板设置有作为第二收尘通道的收尘孔；所述沉积室设有将其内腔与所述收料盒内腔导通的出气孔，所述导流机构设置在所述出气孔旁，所述导流机构的顶端向所述收料板的边缘偏离。

7.根据权利要求6所述的多腔室石墨沉积装置，其特征在于，所述收尘机构还包括设置在所述收料盒上方的出气筒、设置在所述收尘桶与所述出气筒之间将二者导通的第一收尘管、设置在所述收料板与所述沉积室顶部之间的第二收尘管，所述第二收尘管的口径大于所述收尘筒的口径，将所述收尘筒及所述第一收尘管围设在内，所述第一收尘管穿过所述收料板。

8.根据权利要求1所述的多腔室石墨沉积装置，其特征在于，各沉积室围绕一中心轴线间隔均匀地呈圆周分布或者各沉积室呈阵列分布。

9.根据权利要求1所述的多腔室石墨沉积装置，其特征在于，所述收尘机构位于所述沉积机构的上方，所述原料供给机构设置在所述沉积机构的下方，所述收尘机构上设有与所述沉积室一一对应的顶部进气管通道，顶部进气管由所述顶部进气管通道穿过接入所述原料供给机构，所述原料供给机构的底部设有底部进气管通道，底部进气管由所述底部进气管通道接入所述沉积室，所述顶部进气管和所述底部进气管供不同工艺气体通过。

10.根据权利要求1所述的多腔室石墨沉积装置，其特征在于，所述沉积室设有沉积室底板，所述沉积室底板设有供不同工艺气体导入所述沉积室的第一进气口和第二进气口，所述第一进气口与所述第二进气口间隔交替设置。

11.一种化学气相沉积炉，其特征在于，设有如权利要求1-10任一项所述的多腔室石墨沉积装置。