[实用新型]单晶卧式反打定向仪有效

专利信息
申请号: 201420191911.2 申请日: 2014-04-21
公开(公告)号: CN203798749U 公开(公告)日: 2014-08-27
发明(设计)人: 甄伟;赵松彬 申请(专利权)人: 丹东新东方晶体仪器有限公司
主分类号: G01N23/207 分类号: G01N23/207
代理公司: 沈阳利泰专利商标代理有限公司 21209 代理人: 李枢
地址: 118000 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 卧式 定向
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及X射线测量仪,特别是涉及应用X射线衍射原理,采用卧式结构及反打方式,用于各种单晶晶锭材料的单晶卧式反打定向仪。

背景技术

生长出来的各种直径单晶晶锭在加工成晶棒、晶片前,需要先精确地测定单晶晶体角度、再确定棒端面及参考边,再加工成晶片,要有与加工机机械相配套的定向仪,用来进行单晶晶锭材料的粘结定向,并提供产品要求的加工晶体原子面角度。传统的X射线定向仪,其测角仪的样品测量台台面狭小、承载能力不足、测量精度低,局限了单晶晶锭材料的应用规格范围,使之无法粘结定向体积(直径)较大的晶砣,无法满足各种规格单晶晶锭材料多角度粘结定向,测量范围小,测试及定向精度差,满足不了各种直径规格单晶生产的需要。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是,提供一种能够不同规格单晶晶锭材料多角度测量,减少因基准面累加而产生的测量误差,有效的提高被测晶体的测量精度,样品台可进行四方位调节和360°旋转定向,延长样品台的使用寿命,可放置大尺寸、大重量晶棒,方便测量的单晶卧式反打定向仪。

采用的技术方案是:

单晶卧式反打定向仪,包括机架、盖板、工作台、减速机、X射线发生器、光闸、闪烁探测器、转接板、旋转手轮、调整手轮。所述的减速机外设主动带轮和调整手轮,调整手轮与主动带轮同轴,减速机的输入轴装有从动带轮,主动带轮通过齿形带连接从动带轮,转动调整手轮,主动带轮带动从动带轮使减速机输入轴旋转,输入轴旋转使减速机输出轴减速旋转。所述转接板与减速机输出轴固定连接,X射线发生器及光闸固装在转接板上,位置可通过旋转手轮改变。所述闪烁探测器连接支板可绕减速机输出轴手动调整位置。所述工作台安装在机架及盖板上,工作台可通过旋转手轮360°旋转。工作台的下方设置有变压器和稳压器向X射线发生器供电。

上述的工作台上装设有数显装置,减速机的输出轴后端安装有编码器,由机架内部安装电器控制。

本实用新型具有结构简单、使用方便、测量精度高等优点。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点:

1、结构简单、使用方便、加工精度高等优点,解决了单晶晶锭只能定向一个角度的难题。

2、编码器与主轴(减速机输出轴)直联,消除了其它传动系统传动角度间隙误差,定向测量精度高。

3、可增加二维球面夹具体装置,采用四方位球面垫、螺杆调节,使夹具体的调节方便锁紧可靠。

4、工作台是将放在夹具体的待测单晶晶锭用夹具体在X光下进行四方位反复定向测量,工作台360°旋转,晶体的峰值都能达到测量精度,提高了晶体的测量定向精度。

5、本仪器电气控制装置为设定X光管电流大小,通过微安表确定晶体峰值精度,角度仪编码器和回转工作台联接的编码器与数显表X轴、Y轴直接联线,旋转手轮精确的测量定向角度和回转工作台旋转360°每个位置的峰值精度。据用户的需要即能定向正晶向,又能定向偏晶向。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

单晶卧式反打定向仪,包括机架1、盖板2、工作台15、减速机8、X射线发生器3、光闸4、闪烁探测器17、转接板5、旋转手轮6、调整手轮14。所述的减速机8外设主动带轮13和调整手轮14,调整手轮14与主动带轮13同轴,减速机8的输入轴10装有从动带轮11,主动带轮13通过齿形带12连接从动带轮11,转动调整手轮14,主动带轮13带动从动带轮11使减速机输入轴10旋转,输入轴旋转使减速机输出轴7减速旋转。所述转接板5与减速机输出轴7固定连接,X射线发生器3及光闸4固装在转接板5上,位置可通过旋转手轮6改变,X射线发生器3发生的X射线经光闸4照射到工作台上放置的单晶工件9上,经单晶工件9将按布拉格方程反射的X射线被闪烁探测器17接收。所述闪烁探测器17连接支板16可绕减速机输出轴手动调整位置。所述工作台15安装在机架1及盖板2上,工作台15可通过旋转手轮360°旋转,精确的测量定向角度和单晶工件9旋转360°的每个位置的峰值精度,据用户的需要即能定向单晶工件9的正晶向,又能定向偏晶向。工作台上装设有数显装置,减速机的输出轴后端安装有编码器,由机架内部安装电器控制。工作台15的下方设置有变压器和稳压器向X射线发生器供电,构成单晶卧式反打定向仪。

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