[实用新型]一种安装于用于清洗半导体芯片的清洗机的卡扣

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片清洗技术领域，特别是一种安装于用于清洗半导体芯片的清洗机的卡扣，它可以很好地避免清洗过程中芯片的飞出。

背景技术

目前，大多数企业所用的清洗机，这种清洗机主要用于清洗芯片用，它主要包括设备主体、清洗工作盘和自锁紧卡扣，清洗工作盘边缘装有多个螺纹孔，螺纹孔呈环形状分布在清洗工作盘边缘，使用前，将芯片固定在芯片固定环上，再将芯片放在清洗工作盘内，然后关闭设备的安全保护盖，最后便可启动清洗机，从而对清洗工作盘内的芯片进行高速高压清洗。然而，有时会因为工人放置芯片的位置不到位，芯片未放置到卡扣内，使高速清洗的芯片和芯片固定环一起从清洗腔体内飞出，导致周围的设备备件和芯片受损，损失金额大约5000美金/次，而且很容易造成人员伤亡，使用极为不安全，而且操作也不便。因此，这种通过高速旋转产生的离心力来启动卡扣，离心力必须要达到一定速度后才能起作用，当从静止到达到一定速度这个过程中是没法启动卡扣的，也就是无法锁紧芯片固定环，导致芯片和芯片固定环飞出。

本实用新型是通过芯片固定环的自重和磁铁的吸力来完成夹紧的，先是芯片固定环作用在固定杆上，由于芯片固定环的重力启动旋转，当芯片固定环与支撑板接触后，芯片固定环又被磁铁吸住，从而保证清洗机“从静止到达到一定速度”这个过程中，清洗机卡扣一直扣住芯片固定环，后续高速旋转产生的离心力会将卡扣压的更紧，不至于芯片飞出的情况发生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种结构简单、承载能力大、夹紧芯片固定环牢固、使用方便、安全可靠的安装于用于清洗半导体芯片的清洗机的卡扣。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：一种安装于用于清洗半导体芯片的清洗机的卡扣，它包括支撑板和夹紧装置，所述的支撑板上设置有盲孔和U形槽，U形槽内设置有夹紧装置，所述的盲孔内设置有磁体，所述的夹紧装置由旋转板和固定杆组成，旋转板通过转轴旋转安装于U形槽的两个侧壁上，旋转板与U形槽相对的侧壁的顶端设置有的凹槽，固定杆穿过U形槽且设置在旋转板上且固定杆与旋转板上表面呈夹角设置。

所述的支撑板上设置有两个U形槽且两个U形槽位于盲孔的两侧，两个U形槽内均设置有夹紧装置。

所述的两个U形槽关于盲孔对称设置。 

所述的旋转板呈矩形状，旋转板的两个长边分别通过转轴旋转安装于U形槽的两个侧壁上。

它还包括安装座，安装座设置在支撑板上，所述的安装座上设置有两个螺纹孔。

本实用新型具有以下优点：（1）本实用新型的支撑板上设置有盲孔，盲孔内设置有磁体，旋转板与U形槽相对的侧壁的顶端设置有的凹槽，固定杆穿过U形槽且设置在旋转板上且固定杆与旋转板上表面呈夹角设置，使用前将芯片固定在芯片固定环上，再将芯片固定环放置在固定杆上，由于芯片固定环的自重将固定杆压下，旋转板翻转，旋转板上的凹槽扣在芯片固定环上，同时当芯片固定环与支撑板表面接触后，磁体将芯片固定环吸住，从而将芯片固定环牢牢的固定在清洗工作盘内，有效的防止了高速清洗的芯片从清洗工作盘内飞出，安全可靠、给工人的操作带来了方便。（2）本实用新型的支撑板上设置有两个U形槽且两个U形槽位于盲孔的两侧，两个U形槽内均设置有夹紧装置，两个夹紧装置的凹槽同时扣在芯片固定环上，增加了夹紧力和承载能力，适用于不同型号的清洗机。 

附图说明

图1 为本实用新型的结构示意图；

图2 为本实用新型的俯视图；

图3 为图2的右视图；

图中，1-支撑板，2-盲孔，3-U形槽，4-旋转板，5-固定杆，6-凹槽，7-安装座，8-螺纹孔。 

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，本实用新型的保护范围不局限于以下所述：

如图1-3所示，一种安装于用于清洗半导体芯片的清洗机的卡扣，它包括支撑板1和夹紧装置，所述的支撑板1上设置有盲孔2和U形槽3，U形槽3内设置有夹紧装置，所述的盲孔2内设置有磁体，所述的夹紧装置由旋转板4和固定杆5组成，旋转板4通过转轴旋转安装于U形槽3的两个侧壁上，转轴两端有“E型锁扣”，旋转板4与U形槽3相对的侧壁的顶端设置有的凹槽6，固定杆5穿过U形槽3且设置在旋转板4上且固定杆5与旋转板4上表面呈夹角设置。

如图1或图2所示，支撑板1上设置有两个U形槽3且两个U形槽3位于盲孔2的两侧，两个U形槽3关于盲孔2对称设置，两个U形槽3内均设置有夹紧装置。