[实用新型]一种电极横向可动的微机械圆盘谐振器

权利要求书

1. 一种电极横向可动的微机械圆盘谐振器，包括振动圆盘、电极、电极杆、矩形弹性臂、电极臂、点状支承、金属导线和基片，其特征在于：

振动圆盘两侧对称设置有电极，其中的一个电极为输入电极、另一个电极为输出电极；电极杆的一端与电极连接，另一端与矩形弹性臂连接，矩形弹性臂的两端分别通过电极臂与点状支承固定，点状支承下方为基片；矩形弹性臂和电极臂表面设置二氧化硅电绝缘层，并在上方铺上金属导线。