[实用新型]一种紫外通带滤光片

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种滤光片，具体为一种紫外通带滤光片。

背景技术

紫外通带滤光片是紫外光学仪器的一种重要的光学元件，而其中的窄带滤光片的主要作用是对光进行光谱选择，使需要的光通过，不需要的波长的光则被截止。目前，这种滤光片已经应用于科研、生产、军事、国防等各个领域中。但是由于紫外材料的本征吸收，实现高的透过率对于紫外通带滤光片来说具有相当高的难度。

发明内容

针对上述技术问题，本实用新型公开一种紫外通带滤光片，包括：基板3；膜层，包括依次交替沉积于所述基板3上的Ta₂O₅层1以及SiO₂层2。

优选的，所述Ta₂O₅层1以及SiO₂层2的膜层数分别为14层和13层。

优选的，所述基板3为玻璃。

本实用新型的有益效果是通过在基板上依次交替沉积多个高折射率膜层以及多个低折射率膜层的结构，实现了不同波长的光的选择性通过。本实用新型所述紫外通带滤光片具有高的透过率以及环境稳定性，透过率可达到95%以上，波长稳定性小于1.0ppm/℃。

附图说明

图1是本实用新型所述紫外通带滤光片的结构示意图；

图2是本实用新型所述紫外通带滤光片的波长(nm)-透过率(%)关系曲线图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

如图1所示，本实用新型公开一种紫外通带滤光片，包括：基板3；膜层，包括依次交替沉积于所述基板3上的Ta₂O₅层1以及SiO₂层2。

优选的，所述Ta₂O₅层1以及SiO₂层2的膜层数分别为14层和13层。

优选的，所述基板3为玻璃。

下面具体讲述本实用新型所述紫外通带滤光片。

实施例1

如图1所示，本实用新型所述紫外通带滤光片的基板3为玻璃，在所述基板3上依次交替沉积多个Ta₂O₅层以及SiO₂层。其中Ta₂O₅层的膜层数为14层，SiO₂层的膜层数为13层。 

各层膜自上而下的厚度如下： 

1.369H/0.779L/1H/4L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/4L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/4L/1H/1L/1H。

其中，H和L分别代表Ta₂O₅层(高折射率材料层)和SiO₂层(低折射率材料层) 的一个1/4波长光学厚度，Ta₂O₅层对应的折射率Hn＝2.389, SiO₂层对应的折射率Ln＝1.523。本例中波长λ=365nm，1H＝1/4λHn；1L＝1/4λLn。H和L前面的系数表示1/4波长的倍数。

如图2所示，本实用新型所述紫外通带滤光片，在波长365nm，光线垂直射入时，允许365±5nm波长的光通过，而其它波长的光被隔离，即截止，实现了一种紫外光区域的高透过率和高截止深度的光学通带滤光片。本实用新型所述紫外通带滤光片的透过率可达到95%以上，波长稳定性小于1.0ppm/℃。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。