[实用新型]一种版盒加载卸载装置有效
申请号: | 201420179905.5 | 申请日: | 2014-04-15 |
公开(公告)号: | CN203838474U | 公开(公告)日: | 2014-09-17 |
发明(设计)人: | 孙鹤源;王长刚 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;B65H5/08 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 加载 卸载 装置 | ||
1.一种版盒加载卸载装置,其特征在于,包括:版盒、版盒加载卸载单元、版库、取放版机械手、安装框架、防护框架、人工加载窗口;其中,
所述版盒加载卸载单元运送所述版盒,由所述取放版机械手交接,将所述版盒放置于所述版库,所述版库承载版盒,一掩模版放置于所述版盒中;
所述人工加载窗口与所述版盒加载卸载单元交互;
所述版库、版盒加载卸载单元和取放版机械手均固定安装在所述安装框架上,并放置于所述防护框架内。
2.如权利要求1所述的版盒加载卸载装置,其特征在于,所述版盒有条码区。
3.如权利要求2所述的版盒加载卸载装置,其特征在于,所述版盒加载卸载单元包括:运动轴;支撑架,与所述运动轴连接;人工加载区,与所述支撑架连接;掩膜存在感应器,设置于所述人工加载区的第一侧;条码读取器,设置于所述人工加载区的第二侧。
4.如权利要求3所述的版盒加载卸载装置,其特征在于,所述人工加载区包括:第一定位件、第二定位件、第三定位件和第四定位件,用于保证所述版盒加载时的位置精度;
微动开关,设置于所述第二定位件的一侧;
LED指示灯,用于显示所述版盒和掩模版的有无状态。
5.如权利要求4所述的版盒加载卸载装置,其特征在于,所述LED指示灯有2个。
6.如权利要求3所述的版盒加载卸载装置,其特征在于,所述支撑架包括:真空吸附件,用于固定加载完成的版盒;调平件,用于调整版盒加载卸载单元的位置,确保能与所述取放版机械手交接。
7.如权利要求3所述的版盒加载卸载装置,其特征在于,所述运动轴包括:人工加载位互锁件、机械手加载位互锁件和锁紧气缸;当所述人工加载区运动至机械手加载工位时,所述锁紧气缸锁紧所述机械手加载位互锁件,当所述人工加载区运动至人工加载工位时,所述锁紧气缸锁紧所述人工加载位互锁件。
8.如权利要求1所述的版盒加载卸载装置,其特征在于,所述人工加载窗口包括三组对射式安全传感器,用于所述版盒加载卸载单元运动到所述人工加载窗口时,若出现异常场景,则触发所述对射式安全传感器,并进行安全保护。
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