[实用新型]基于自聚焦原理的传感系统光学结构有效
申请号: | 201420172299.4 | 申请日: | 2014-04-10 |
公开(公告)号: | CN203811135U | 公开(公告)日: | 2014-09-03 |
发明(设计)人: | 蒋敏兰;郑华清 | 申请(专利权)人: | 浙江师范大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙) 31230 | 代理人: | 陈伟勇 |
地址: | 321001 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 自聚焦 原理 传感 系统 光学 结构 | ||
1.基于自聚焦原理的传感系统光学结构,包括用于产生激光光束的激光器、光学棱镜、光栅、光电探测器,其特征在于,所述光学棱镜包括一反射镜、一分光镜、一准直镜;
所述光栅包括一第一光栅、第二光栅,以所述第一光栅作为一分光光栅,以所述第二光栅作为一测量光栅;
所述激光器的出光口设有所述分光光栅,所述分光光栅将激光器发出的激光分为三束衍射光,所述分光光栅上方设有所述分光镜,所述分光镜的左方设有所述反射镜,所述反射镜的反射面位于右侧,且所述反射镜向左倾斜设置,所述反射镜的上方设有所述准直镜,所述准直镜的上方设有物镜,所述物镜的上方设有所述测量光栅;
所述分光镜的右方设有一柱面镜,所述柱面镜右方设有所述光电探测器;
所述光电探测器连接一信号处理电路,所述信号处理电路连接一PID反馈控制电路;
所述PID反馈控制电路连接一压电陶瓷驱动器,所述压电陶瓷驱动器固定连接所述物镜。
2.根据权利要求1所述的基于自聚焦原理的传感系统光学结构,其特征在于:所述激光器是分布反馈式半导体激光器。
3.根据权利要求2所述的基于自聚焦原理的传感系统光学结构,其特征在于:所述激光器是量子阱式半导体激光器。
4.根据权利要求1、2或3所述的基于自聚焦原理的传感系统光学结构,其特征在于:所述激光器包括一激光二极管。
5.根据权利要求1所述的基于自聚焦原理的传感系统光学结构,其特征在于:所述光电探测器的感光面正对朝向所述柱面镜的出射光。
6.根据权利要求1所述的基于自聚焦原理的传感系统光学结构,其特征在于:所述反射镜沿水平方向上的倾斜角度为20°~70°。
7.根据权利要求1所述的基于自聚焦原理的传感系统光学结构,其特征在于:所述光电探测器是六象限光电探测器,所述六象限光电探测器内设有 一检测电路,所述六象限光电探测器通过所述检测电路连接所述信号处理电路。
8.根据权利要求7所述的基于自聚焦原理的传感系统光学结构,其特征在于:所述六象限光电探测器设有三个感光区域,用于感应0级光束的第一感光区域、用于感应-1级光束的第二感光区域、用于感应+1级光束的第三感光区域,所述第二感光区域与所述第三感光区域分别位于所述第一感光区域的左右两侧。
9.根据权利要求1所述的基于自聚焦原理的传感系统光学结构,其特征在于:所述分光光栅是透射式光栅,所述测量光栅是反射式光栅。
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