[实用新型]镀膜充气装置有效
申请号: | 201420160843.3 | 申请日: | 2014-04-03 |
公开(公告)号: | CN203890437U | 公开(公告)日: | 2014-10-22 |
发明(设计)人: | 郑芳平;张迅;易伟华 | 申请(专利权)人: | 江西沃格光电股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 吴平 |
地址: | 338004 江西省新余*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 充气 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及镀膜技术,特别是涉及一种镀膜充气装置。
背景技术
目前,大部分镀膜公司采用单管道的充气管,以单管道充气的方式进行工艺充气,以用于镀膜。
对于传统的单管道充气的方式,其由于充气点单一,在工艺充气管道会出现局部的布气不均匀的现象。在充气点附近的气体的浓度较大,而远离充气点的气体的浓度较为低,因此在立式的镀膜工艺中,不同的气体的浓度影响工艺上中下的均匀性,进而影响镀膜产品的品质,在工艺生产过程中,遇到需要调整上中下膜厚均匀性时,无法及时调整。
实用新型内容
基于此,有必要提供一种管道内气体浓度较为均匀的镀膜充气装置。
一种镀膜充气装置,包括:
主气管,为长条形管状结构,所述主气管上开设有多个第一出气孔,多个所述第一出气孔沿所述主气管的轴向间隔排列,所述主气管的侧壁上还沿其轴向均匀分布有多个第一充气孔;及
第一充气管,所述第一充气管包括主充气管及由所述主充气管一端分叉形成的多个支管,多个所述支管分别通过多个第一充气孔与所述主气管内部相导通。
在其中一个实施例中,还包括第一流量计,所述第一流量计设置于所述主充气管上,用于对主充气管内的气流进行控制。
在其中一个实施例中,还包括辅助气管,所述辅助气管设置于所述主气管的一侧,并与所述主气管相独立,所述辅助气管上开设有多个第二出气孔,多个所述第二出气孔沿所述辅助气管的轴向间隔排列,所述辅助气管内设置有多个第一分隔板,多个所述第一分隔板将所述辅助气管分隔成多个相互独立的辅助通道,多个所述辅助通道的侧壁上均开设有第二充气孔。
在其中一个实施例中,所述主气管与所述辅助气管一体成型,且所述主气管与所述辅助气管通过轴向延伸的第二分隔板进行分隔。
在其中一个实施例中,所述第一充气孔为三个;所述第一分隔板为两个,两个所述第一分隔板将所述辅助气管分隔成三个相互独立的辅助通道。
在其中一个实施例中,相邻两个所述第二出气孔间的距离相等。
在其中一个实施例中,所述主气管和/或所述辅助气管为矩形管。
在其中一个实施例中,还包括多个第二充气管,多个所述第二充气管分别通过多个第二充气孔与多个辅助通道相导通。
在其中一个实施例中,所述第二充气管上还设置有第二流量计。
在其中一个实施例中,相邻两个所述第一出气孔间的距离相等。
上述镀膜充气装置,至少具备以下优点:
首先,在主气管上均匀分布有多个第一充气孔,第一充气管通过多个第一充气孔对主气管进行充气,可以使主气管内气体的浓度均匀分布,进而使得镀膜工艺更加均匀,提高了镀膜产品的质量。
同时,辅助气管由第一分隔板分隔成多个相互独立的辅助通道,多个辅助通道的侧壁上均开设有第二充气孔,通过第二充气孔对辅助通道进行充气,可以对镀膜工艺中各部位的气体的浓度进行调节,进一步保证了气体的均匀性。
此外,第二充气管上还设置有第二流量计。通过第二流量计,可以对充入各个辅助通道内的气流进行调节,以调节各个辅助通道内气体的浓度,增加镀膜工艺的均匀性。
附图说明
图1为本发明较佳实施例中镀膜充气装置的结构图;
图2为另一实施例的镀膜充气装置的结构图;
图3为图2所示镀膜充气装置的局部结构示意图。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型,下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是,本实用新型可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施方式。相反地,提供这些实施方式的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的,不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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