[实用新型]压力烘烤设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种烘烤设备，特别是涉及一种借由气体循环装置的风扇驱使烘烤腔室内的气体流动的压力烘烤设备。

背景技术

参阅图1，中国台湾专利第M332262号专利案公开了一种半导体封装加工之除泡烤箱装置，其包括一腔体11、一驱动马达承置腔室12，及一结合于腔体11与驱动马达承置腔室12之间的连通腔道13。腔体11形成一容置空间111用以供一风扇14设置。驱动马达承置腔室12形成一容置空间121用以供一驱动马达15设置，驱动马达15外部绕设有一铜管16，铜管16可连结一水供应源以冷却驱动马达15的温度。连通腔道13形成一容置空间131，容置空间131连通于腔体11的容置空间111与驱动马达承置腔室12的容置空间121之间，一传动轴17穿设于容置空间131内且两端分别连接于风扇14及驱动马达15，借此，驱动马达15可通过传动轴17带动风扇14旋转，使腔体11的容置空间111内的气体流动。

由于连通腔道13的容置空间131连通于容置空间111与容置空间121之间，因此，驱动马达15运转时所产生的粉尘易经由连通腔道13流通至容置空间111内，进而导致腔体11的容置空间111内的洁净度降低。再者，由于铜管16内所流动的水会持续地将驱动马达15所产生的热能带走，因此，腔体11的容置空间111内的热能会经由连通腔道13的容置空间131朝驱动马达承置腔室12的容置空间121方向流动及扩散，进而导致腔体11的容置空间111内的热能损失。

发明内容

本实用新型的一目的，在于提供一种压力烘烤设备，借由气密件阻断连接装置的通孔以防止烘烤腔室与承载腔室相连通，能防止承载腔室内的驱动马达运转时所产生的粉尘流通至烘烤腔室内，以保持烘烤腔室内的洁净度。

本实用新型的另一目的，在于提供一种压力烘烤设备，借由气密件阻断连接装置的通孔以防止烘烤腔室与承载腔室相连通，能防止烘烤腔室内的高热气体直接经由通孔流通至承载腔室内，以降低烘烤腔室内的热能损失。

本实用新型的又一目的，在于提供一种压力烘烤设备，借由压力控制装置可分别独立地控制烘烤腔室内的压力以及承载腔室内的压力，使得气密件能处在微压力差的工作环境下，借此，能提升气密件的使用寿命。

本实用新型的目的及解决背景技术问题是采用以下技术方案来实现的，依据本实用新型提出的压力烘烤设备，包含一烤箱、一承载箱、一连接装置、一气体循环装置，及一压力控制装置，该烤箱形成一烘烤腔室，该承载箱形成一承载腔室，该连接装置连接于该烤箱与该承载箱之间，该连接装置形成有一连通于该烘烤腔室与该承载腔室之间的通孔，该气体循环装置包括一设置于该烘烤腔室内的风扇、一设置于该承载腔室内的驱动马达，及一穿设于该通孔内的传动轴，该传动轴的两相反端分别连接于该风扇与该驱动马达，该驱动马达可通过该传动轴带动该风扇旋转，该压力控制装置包括一操控模块，及一设置于该操控模块与该烤箱之间用以控制该烘烤腔室内的压力的第一压力控制模块。

该压力烘烤设备还包含一气密件，该气密件套设于该传动轴上用以阻断该通孔，以防止该烘烤腔室经由该通孔与该承载腔室相连通，该压力控制装置还包括一设置于该操控模块与该承载箱之间用以控制该承载腔室内的压力的第二压力控制模块。

该连接装置的通孔包括一连通于该烘烤腔室的小孔径部，及一连通于该承载腔室的大孔径部，该大孔径部的孔径大于该小孔径部的孔径，该连接装置包括一位于该小孔径部与该大孔径部之间的肩部，该气密件为一设置于该大孔径部内并抵靠于该肩部与该驱动马达之间的轴封。

该驱动马达包含一与该传动轴连接的马达本体，及多片环设于该马达本体外表面且彼此相间隔的散热片。

该承载箱包括一端壁、一形成于该端壁外周缘的围绕壁，及一设置于该围绕壁外壁面的导流件，该端壁与该围绕壁共同界定出该承载腔室，该围绕壁与该导流件共同界定一用以供液体流通的流道。

该导流件具有一与该围绕壁外壁面相间隔的环形壁，及两个分别形成于该环形壁相反端并且连接于该围绕壁外壁面的连接端壁，该环形壁相反侧分别形成一与该流道相连通的入液口，及一与该流道相连通的排液口。

该烤箱包括一弧形端壁，该连接装置还包括一接合块，一连接板，及一接合管，该接合块具有一焊接于该弧形端壁并与该弧形端壁形状相配合的弧形连接面，及一相反于该弧形连接面的直立端面，该连接板焊接于该直立端面上，该接合管具有一锁固于该连接板的第一环部，及一锁固于该承载箱的第二环部，该接合块、该连接板及该接合管共同界定出该小孔径部，该接合管界定出该大孔径部与该肩部。