[实用新型]一种旋转手臂的定位装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体生产设备，特别是涉及一种旋转手臂的定位装置。

背景技术

随着半导体行业的不断发展，对半导体生产的要求越来越高，作为直接影响半导体生产质量的半导体生产设备，其性能要求也越来越高。在半导体加工的过程中，需要将晶圆在各工艺环节之间传递，而晶圆的传递通常都是由机械手臂完成的。旋转手臂是其中比较常用的一种机械手臂，旋转手臂被应用于KT OVL/AIT/KLA机台上，其主要功能是将晶圆从SMIF传递到Pre-aligner和Table上，按照系统设定的角度自动旋转到需要到达的位置，在该位置进行晶圆的装载和卸载。

如图1所示为现有技术中常用的旋转手臂装置1，在旋转手臂装置1的0°、90°及180°位置上分别设有标准机械接口（SMIF）系统13、预对准（Pre-aligner）系统14及晶圆固定工作台（Table）系统15。在SMIF系统13中晶圆被识别并取出，装载到旋转手臂12上；然后根据系统设定的90°角度旋转，将晶圆传送到90°位置的Pre-aligner系统14处，再将晶圆装载到Pre-aligner系统14上进行定位操作；待定位操作完成后再通过旋转手臂12将晶圆从Pre-aligner系统14上卸载下来，根据系统设定的90°角度旋转，将晶圆传送到180°位置的Table系统15处，再将晶圆装载到Table系统15上进行下一步的测量等操作。

旋转手臂装置能很便捷的将晶圆传送到各个系统，但是当前的旋转手臂装置存在如下问题：系统设置的角度跟实质的角度没有检测装置，如果伺服电机电压或电流出现问题，编码器控制的角度也就很容易出现偏差，导致位置0°偏移；传递晶圆到Pre-aligner或Table系统中，需要旋转手臂根据系统设定的角度旋转来完成，如果0o位置偏移，到达Pre-aligner和Table的位置也相继偏移，产生位置偏差的话可能会造成生产设备碰撞，导致晶圆受损、撞坏Pre-aligner和Table，附带的还有Notch sensor和高倍显微镜受损。如图2所示，旋转手臂12移动到Pre-aligner系统位置时，由于0°位置偏移，旋转手臂12将Pre-aligner系统上用于装载晶圆的一根顶针撞断，撞击产生的震动使晶圆失真空跳起撞击到上表面侦测的Notch sensor，导致晶圆报废、系统上的顶针和Notch sensor受损。如图3所示，旋转手臂12移动到Table系统位置时，由于0°位置偏移，旋转手臂12与Table系统发生碰撞，导致旋转手臂12被撞弯，同时撞击的震动使失真空跳起撞击到树立在其上方的高倍显微镜，导致晶圆报废、显微镜镜片撞伤以及Table系统被撞坏，造成设备损伤，带来不必要的经济损失。

0°偏移问题极大影响旋转手臂装置的工作效率，同时损坏晶圆和生产设备，造成不必要的经济损失，是半导体生产设备领域亟待解决的问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种旋转手臂的定位装置，用于解决现有技术中0°偏移导致的晶圆报废和设备损坏问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种旋转手臂的定位装置，所述旋转手臂装置包括底座，连接于所述底座上方的旋转滚筒，以及连接于所述旋转滚筒上方的旋转手臂，所述定位装置包括套设于所述旋转滚筒的底部的圆形卡盘装置，所述圆形卡盘装置的外侧边缘设有三个卡槽，以及设置于所述底座上方的探测装置，所述探测装置通过伸缩实现与所述圆形卡盘装置的外切或与所述卡槽的卡合。

优选地，所述圆形卡盘装置的高度设定为3cm～5cm。

优选地，所述圆形卡盘装置的外径小于所述底座的外径。

优选地，所述卡槽为三角柱状缺口。

优选地，所述三个卡槽在圆形卡盘装置上以90°角相邻分布。

优选地，所述探测装置包括滚轮，连接在所述滚轮上的滑块以及连接于所述滑块上的弹簧。

优选地，所述探测装置连接有传感器，所述传感器在所述滚轮进入卡槽时接通，在所述滚轮与所述圆形卡盘装置外切时断开。

优选地，所述探测装置设置于所述底座的0°位置处。

如上所述，本实用新型的旋转手臂的定位装置，具有以下有益效果：本实用新型的旋转手臂的定位装置用三个卡槽和一个带滚轮的探测装置与系统软件配合，及时反应出现偏差的问题，实现准确精准定位，避免0°偏移，进而避免0°偏移所导致的仪器碰撞问题，有效保护生产设备不受损坏。

附图说明

图1显示为现有技术中的旋转手臂装置示意图。