[实用新型]氯硅烷提纯系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅领域，具体而言，本实用新型涉及氯硅烷提纯系统。

背景技术

多晶硅是一种超高纯材料，用于集成电路、电子器件和太阳能电池，是信息和新能源产业的基石，是国家鼓励优先发展的战略材料，也是国家重点鼓励发展的产品和产业。2012年，受全球经济危机和欧盟双反影响，多晶硅市场持续低迷，如何降低多晶硅生产成本，如何提升企业的核心竞争力，成为各多晶硅企业长期持续发展的首要任务。

目前国内多晶硅的主要生产方法是改良西门子法，主要包括三氯氢硅合成、精馏提纯、还原、还原尾气干法回收和氢化五个工序。精馏提纯为还原工序提供高纯原料，是多晶硅系统的重要工序。多晶硅的超高纯度要求提纯产品的杂质含量达到ppta级别（10^-12），纯度达到9个“9”，必然要求高回流比和高理论板数，必然需要相对较高的热量消耗，提纯工序的能耗是多晶硅系统的主要能耗之一，因此降低提纯工序的能耗是降低多晶硅成本的最有效途径之一。

然而，目前用于提纯氯硅烷的系统还有待进一步改进。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种氯硅烷提纯系统，该系统可以达到将耦合塔的数量由2或3塔扩大为5塔，由此实现五塔连续耦合节能效果更明显，能耗降低80%，解决了多晶硅系统中提纯工序高能耗的问题，降低企业生产成本，提升企业的核心竞争力。

根据本实用新型的一个方面，本实用新型提出了一种氯硅烷提纯系统，包括：

第一至第五精馏塔，所述第一至第五精馏塔中的每一个精馏塔均具有位于该精馏塔上的进料口、出气口、出液口、进液口以及进气口；

第一至第五再沸器，所述第一至第五再沸器中的每一个均具有位于该再沸器上的进液口、出气口、蒸汽进口以及冷凝液出口，

第一至第五回流泵，所述第一至第五回流泵中的每一个泵均具有泵进口和泵出口；

第一至第五回流罐，所述第一至第五回流罐中的每一个回流罐均具有位于该第一至第五回流罐上的罐进口和罐出口；

一个冷凝器，所述一个冷凝器具有进气口、出液口、冷源进口和冷源出口；

其中，

所述第一精馏塔的出气口与所述冷凝器的进气口相连，所述冷凝器的出液口与所述第一回流罐的罐进口相连，所述第一回流罐的罐出口与所述第一回流泵的泵进口相连，所述第一回流泵的泵出口与所述第一精馏塔的进液口相连，以便将一部分氯硅烷冷凝液回流至所述第一精馏塔；所述第一至第五再沸器的进液口依次分别与所述第一至第五精馏塔的出液口相连，以便对氯硅烷塔底液的一部分进行加热再沸；所述第一至第五再沸器的出气口与所述第一至第五精馏塔的进气口相连；所述第二至第五精馏塔的出气口依次分别与所述第一至第四再沸器的蒸汽进口相连，所述第一至第四再沸器的冷凝液出口依次分别与所述第二至五回流罐的罐进口相连，所述第二至五回流罐的罐出口依次分别与所述第二至第五回流泵的泵进口相连，所述第二至第五回流泵的泵出口依次分别与所述第二至第五精馏塔的进液口相连，以便将氯硅烷冷凝液的一部分回流至所述第二至第五精馏塔；

其中，所述冷凝器的冷源进口与冷源相连；所述第五再沸器的蒸汽进口与热源相连。

本实用新型上述实施例氯硅烷提纯系统与简单耦合精馏工艺相比，五塔连续耦合节能效果更明显，能耗降低80%，解决了多晶硅系统中提纯工序高能耗的问题，降低企业生产成本，提升企业的核心竞争力。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型一个实施例的氯硅烷提纯系统的结构示意图。

图2是根据本实用新型另一个实施例的氯硅烷提纯系统的结构示意图。

图3是根据本实用新型再一个实施例的氯硅烷提纯系统的结构示意图。

图4是根据本实用新型再一个实施例的氯硅烷提纯系统的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。