[实用新型]一种用于监测硅棒的生长直径的装置

权利要求书

1.一种用于监测硅棒的生长直径的装置，其特征在于，包括石墨卡帽和垂直安装于石墨卡帽之上的监测棒，所述监测棒和石墨卡帽的轴心平行设置，且所述监测棒与石墨卡帽的轴心之间的距离略大于硅棒的预设半径，所述硅棒形成于石墨卡帽的轴心位置处。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述监测棒为至少两根，该至少两根监测棒和石墨卡帽的轴心互相平行设置，且所述至少两根监测棒以石墨卡帽的轴心为中心均匀分布在石墨卡帽上，每根监测棒与石墨卡帽的轴心之间的距离均略大于硅棒的预设半径。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述监测棒为偶数根。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述监测棒为两根。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的装置，其特征在于，所述监测棒采用石墨棒。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，每根监测棒的长度≤80mm。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的装置，其特征在于，每根监测棒与石墨卡帽的轴心之间的距离均比硅棒的预设半径大1～5mm。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的装置，其特征在于，每根监测棒的直径为9～15mm。

9.根据权利要求1～4中任一项所述的装置，其特征在于，所述石墨卡帽的安装有监测棒一侧的表面上还设置有以所述表面的中心为圆心的圆形凹槽，所述硅棒的根部形成于所述圆形凹槽中；所述圆形凹槽的直径略大于硅棒根部的预设直径。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述圆形凹槽的直径比硅棒根部的预设直径大1～5mm。

11.根据权利要求1～4中任一项所述的装置，其特征在于，所述硅棒为原料单晶硅棒或原料多晶硅棒。