[实用新型]固定夹以及宏观检查机

权利要求书

1.一种固定夹，其特征在于，包括：

支承台；

与所述支承台配合的用于夹持基板的夹板；

用于带动所述夹板向所述支承台运动的气缸，所述气缸的活塞杆与所述夹板连接，所述气缸的气缸筒上安装有排气管，所述排气管上设置有用于保持气缸筒内气压恒定的减压阀。

2.根据权利要求1所述的固定夹，其特征在于，所述排气管上设置有气压表。

3.根据权利要求1所述的固定夹，其特征在于，所述夹板的一端与所述支承台配合，所述夹板的另一端与所述气缸的活塞杆连接，所述夹板的中部与支架通过转轴铰接在一起，所述活塞杆带动所述夹板绕所述转轴旋转，以使所述夹板的一端与所述支承台配合夹持所述基板。

4.根据权利要求3所述的固定夹，其特征在于，还包括底座，所述支架、所述气缸的气缸筒、所述支承台均设置于所述底座上，所述夹板的中部与支架的顶部通过转轴铰接在一起，所述夹板的另一端与所述气缸的活塞杆的顶端连接，所述夹板的一端位于所述支承台的上方，所述活塞杆向上带动所述夹板绕所述转轴旋转，以使所述夹板的一端向下与所述支承台配合夹持所述基板。

5.根据权利要求4所述的固定夹，其特征在于，所述气缸的活塞杆由下向上依次穿过固定螺母以及所述夹板的另一端，所述固定螺母将所述夹板的另一端与所述气缸的活塞杆固定在一起。

6.一种宏观检查机，其特征在于，包括如权利要求1-5任一项所述的固定夹。