[实用新型]一种垂直磁传感器的检验及校准装置

说明书

技术领域

本实用新型属于磁传感技术领域，涉及一种磁传感器，尤其涉及一种垂直磁传感器的检验及校准装置。

背景技术

目前，在消费类电子产品中为了给用户带来导航方面的便利，越来越多地使用基于磁传感器技术的电子罗盘。近年来，对磁传感器的需求从两轴的平面磁传感器向三轴的全空间磁传感器发展。与两轴的平面磁传感器相比，三轴磁传感器多了一个感应垂直方向磁场的Z轴传感器。基于降低封装成本和器件尺寸的要求，将Z轴磁传感器与平面磁传感器集成为单芯片的三轴磁传感器是未来的发展方向。

大规模制备单芯片的三轴磁传感器需要使用半导体工艺，在半导体工艺中，需要对三轴磁传感器芯片的磁性能参数进行检验和校准，这其中最为困难的就是垂直磁传感器（Z轴磁传感器）灵敏度的检验和校准。在晶圆电测试中，需要检验Z轴灵敏度是否符合设计规范，将合格的传感器芯片挑选出来，随后将合格的传感器芯片和ASIC芯片一起封装，然后经过最终测试对垂直磁传感器的灵敏度进行校准，最终得到可以正常工作的三轴磁传感器。

由于垂直磁传感器的灵敏度相对较低，测试过程中噪音的干扰大，因此实现垂直磁传感器灵敏度的检验和校准是一个亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种垂直磁传感器的检验及校准装置，可产生稳定的、较高强度的垂直方向磁场，用于垂直磁传感器（Z轴磁传感器）的检验和校准。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种垂直磁传感器的检验及校准装置，所述检验及校准装置包括测试板、螺旋线圈模块、金属导线，所述螺旋线圈模块包括一组、两组或多组螺旋线圈；

各组螺旋线圈设置于测试板上或测试板内，螺旋线圈通过金属导线连接电源。

作为本实用新型的一种优选方案，所述螺旋线圈模块包括一组螺旋线圈，螺旋线圈位于测试板所在平面内；所述检验及校准装置包括两根金属导线，分别为第一金属导线、第二金属导线；

两根金属导线分别连接螺旋线圈的两端，第一金属导线设置于测试板上，第二金属导线设置于测试板内，第二金属导线连接螺旋线圈内测的一端。

作为本实用新型的一种优选方案，所述测试板上、螺旋线圈的中心区域为垂直磁传感器芯片的放置区域。

作为本实用新型的一种优选方案，所述检验及校准装置包括两根金属导线；所述螺旋线圈模块包括两组螺旋线圈，分别与第一螺旋线圈、第二螺旋线圈；

这两组螺旋线圈分为上下两层，分别位于测试板的表面和内部；所述第一螺旋线圈、第二螺旋线圈在内侧相互连接，第一螺旋线圈、第二螺旋线圈的外侧的两端分别与两根金属导线相连。

作为本实用新型的一种优选方案，所述测试板上、螺旋线圈的中心区域为垂直磁传感器芯片的放置区域。

作为本实用新型的一种优选方案，所述两组螺旋线圈的中心区域在测试板的投影相重合。

作为本实用新型的一种优选方案，所述螺旋线圈模块包括多组螺旋线圈；各组螺旋线圈依次首尾连接，串联在一起，各组螺旋线圈在通电后电流方向一致。

作为本实用新型的一种优选方案，所述螺旋线圈模块包括多组螺旋线圈，至少包括第一螺旋线圈、第二螺旋线圈、第三螺旋线圈；

第三螺旋线圈与第一螺旋线圈、第二螺旋线圈不连接，第一螺旋线圈与第二螺旋线圈连接或不连接；各组螺旋线圈在通电后电流方向一致。

作为本实用新型的一种优选方案，所述螺旋线圈模块包括多组螺旋线圈，各组螺旋线圈互不相连，通过各自的金属导线连接同一个电源或不同电源；各组螺旋线圈在通电后电流方向一致。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型提出的垂直磁传感器的检验及校准装置，可产生稳定的、较高强度的垂直方向磁场，用于垂直磁传感器（Z轴磁传感器）的检验和校准。本实用新型对测试过程中磁传感器芯片位置的漂移有较大的容忍度，抗干扰性强，只需设计一组螺旋线圈，结构简单。

附图说明

图1是实施例一中本实用新型垂直磁传感器检验和校准装置的示意图。

图2是图1的A-A向剖视图（包含螺旋线圈产生的磁场分布）。

图3是实施例二中本实用新型垂直磁传感器检验和校准装置的示意图。

图4是图3的B-B向剖视图（包含螺旋线圈产生的磁场分布）。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施例。

实施例一