[实用新型]一种安全防护装置有效

专利信息
申请号: 201420134100.9 申请日: 2014-03-24
公开(公告)号: CN204079384U 公开(公告)日: 2015-01-07
发明(设计)人: 白松;许青峰;孙新光;桂纯钦 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: B66F9/07 分类号: B66F9/07;B66F17/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 安全 防护 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及半导体技术领域,特别涉及一种安全防护装置。

背景技术

由于半导体行业的特殊性,所涉及的设备利用率相当重要,设备的利用率关系到整条生产线的生产能力也就是直接影响到了公司的经济效益,而产品以及人身的安全同样极其重要。

自动存储设备(Stocker)作为目前半导体工厂内很重要的一个组成部分,具有保存管理FOUP(存放晶体的盒子)、参与全厂自动化调度等功能,自动存储设备(Stocker)的安全性和稳定性是FAB内整条生产线稳定高效的必要条件,因此减少自动存储设备(Stocker)的故障率,保证自动存储设备(Stocker)的稳定运行对于生产来说非常重要。

在现有自动存储设备(Stocker)出现的故障中,因误触碰自动存储设备(Stocker)的出货口感应器(Sensor)或是提前拿取货物而导致的报错占了很大一部分比例,仅仅通过培训警告并不能完全避免此故障发生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供安全防护装置,以解决因误触碰自动存储设备(Stocker)的出货口感应器或是提前拿取货物而导致报错的问题。

为解决上述技术问题,本实用新型提供一种安全防护装置,应用于自动存储设备出货口,包括:

信号控制系统,与所述自动存储设备通信;

光幕发生及接收系统,与所述信号控制系统通信;

报警系统,与所述光幕发生及接收系统连接。

进一步的,在所述的安全防护装置中,所述光幕发生及接收系统设置于所述自动存储设备出货口外侧。

进一步的,在所述的安全防护装置中,所述光幕发生及接收系统包括光幕发生器和光幕接收感应器,所述光幕发生器与所述信号控制系统连接,所述光幕接收感应器与所述报警系统连接,所述光幕发生器与所述光幕接收感应器相互感应。

进一步的,在所述的安全防护装置中,所述报警系统是蜂鸣器。

进一步的,在所述的安全防护装置中,还包括信号灯,设置于所述自动存储设备出货口。

进一步的,在所述的安全防护装置中,所述信号控制系统的信号与所述自动存储设备的信号串联。

进一步的,在所述的安全防护装置中,所述光幕发生及接收系统的信号与所述信号控制系统的信号串联。

进一步的,在所述的安全防护装置中,所述报警系统的信号与所述光幕发生及接收系统的信号串联。

本实用新型提供的安全防护装置,具有以下有益效果:本实用新型减少了自动存储设备出货口报错的几率,提高了自动存储设备的利用率,同时也减少了对自动存储设备出货口的接货人员及货物的受损几率。

附图说明

图1是本实用新型优选实施例的安全防护装置示意图;

图2是本实用新型优选实施例的安全防护装置工作流程图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的安全防护装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书,本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参考图1,其是本实用新型优选实施例的安全防护装置的示意图。如图1所示,本实用新型提供一种安全防护装置,应用于自动存储设备(Stocker)出货口,包括:信号控制系统10、光幕发生及接收系统(图中未示出)和报警系统30;其中,

所述信号控制系统10,与所述自动存储设备(Stocker)通信,所述信号控制系统10的信号与所述自动存储设备(Stocker)的信号串联,所述信号控制系统10接收所述自动存储设备(Stocker)发出的信号;

所述光幕发生及接收系统,与所述信号控制系统10通信,所述光幕发生及接收系统的信号与所述信号控制系统10的信号串联,所述光幕发生及接收系统接收所述信号控制系统10发出的信号;

在本实用新型一个优选的实施例中,所述光幕发生及接收系统设置于所述自动存储设备(Stocker)出货口外侧。

在本实用新型另一优选的实施例中,所述光幕发生及接收系统包括光幕发生器201和光幕接收感应器202(光幕接收sensor),所述光幕发生器201与所述信号控制系统10连接,所述光幕接收感应器202与所述报警系统30连接,所述光幕发生器201与所述光幕接收感应器202相互感应。

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