[实用新型]多晶硅锭表面预处理装置有效
| 申请号： | 201420130759.7 | 申请日： | 2014-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN203782276U | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 张军彦;周社柱;杜海文;韩婷婷 | 申请（专利权）人： | 山西中电科新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 太原华弈知识产权代理事务所 14108 | 代理人： | 李毅 |
| 地址： | 030032 山西省太*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 表面 预处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅锭表面预处理装置，包括龙门吊导轨（1），在龙门吊导轨（1）上设置有龙门吊（2），在龙门吊（2）上设置有硅锭吊具（3），在龙门吊导轨（1）的一侧设置有预处理池支架（4），在预处理池支架（4）上依次设置有腐蚀池（5）、超声波浸泡池（7）和漂洗喷淋池（8），其特征在于，在腐蚀池（5）的长方体形腐蚀池体（9）的底面中央设置有排液管路（14），在排液管路（14）上设置有排液控制阀（15），在长方体形腐蚀池体（9）的左右两内侧面底部均设置有池底凹槽（10），在池底凹槽（10）中设置有电加热器（11），在长方体形腐蚀池体（9）内分别连通有酸液输入管（12）、碱液输入管（13）、净水输入管（17）和压缩空气输入管（18），在长方体形腐蚀池体（9）的底面上设置有硅锭支撑台（16）。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅锭表面预处理装置，其特征在于，在腐蚀池（5）的池口一侧设置有抽风筒（6）。
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