[实用新型]滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构有效
申请号: | 201420123168.7 | 申请日: | 2014-03-18 |
公开(公告)号: | CN203773224U | 公开(公告)日: | 2014-08-13 |
发明(设计)人: | 梁森;王东山;李雪;张术国 | 申请(专利权)人: | 青岛理工大学 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 王吉勇 |
地址: | 266520 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平面 光刻 压印 紫外 灯光 结构 | ||
1.一种滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构,其特征是,包括紫外灯光源和能够控制所述光源光照强度变化的控制电路,所述紫外灯光源包括抛物面型灯罩、紫外灯管和凸透镜柱,所述紫外灯管安装在所述灯罩的抛物线焦点上,凸透镜柱安装在抛物面的开口处,凸透镜柱的一个焦点在滚对平面式光刻压印的加工区域上,也就是凸透镜柱的焦点位于滚筒模具表面和衬底的切线上;所述紫外灯光源与滚筒模具的芯轴之间在辊压印模具绕芯轴旋转时,保持位置不变;
所述控制电路包括固定安装于滚筒模具一侧端面芯轴上的感应线圈探头,且前述滚筒模具端面上均匀且磁极极性交替变化地安装有多个能与感应线圈探头对应的永磁体,感应线圈探头经放大电路和整流电路与紫外灯管相连形成一闭合回路。
2.一种滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构,其特征是,包括紫外灯光源和能够控制所述光源光照强度变化的控制电路,所述紫外灯光源包括抛物面型灯罩、紫外灯管和凸透镜柱,所述凸透镜柱的一个焦点与抛物线型灯罩共焦点,紫外光灯管安装于该共焦点上,凸透镜柱安装在抛物面的开口处,凸透镜柱另一个焦点在滚对平面式光刻压印的加工区域上,也就是凸透镜柱的焦点位于滚筒模具表面和衬底的切线上;所述紫外灯光源与滚筒模具的芯轴之间在辊压印模具绕芯轴旋转时,保持位置不变;
所述控制电路包括固定安装于滚筒模具一侧端面的芯轴上的感应线圈探头,且前述滚筒模具端面上均匀安装有多个磁极极性交替变化且能与感应线圈探头对应的永磁体,感应线圈探头经放大电路和整流电路与紫外灯管相连形成一闭合回路。
3.如权利要求1或2所述的紫外灯光源结构,其特征是,所述抛物面型灯罩开口的大小小于2倍滚筒模具内部半径。
4.如权利要求1或2所述的紫外灯光源结构,其特征是,所述感应线圈探头中心正对永磁体。
5.如权利要求1或2所述的紫外灯光源结构,其特征是,所述线圈探头的端面与永磁体相距1-2mm。
6.如权利要求1或2所述的紫外灯光源结构,其特征是,所述放大电路是晶体管放大器,其输入端与感应线圈探头的输出端相连,晶体管放大器与整流电路相接,经整流后的电信号直接输入到紫外灯管中。
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