[实用新型]滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构有效

专利信息
申请号: 201420123168.7 申请日: 2014-03-18
公开(公告)号: CN203773224U 公开(公告)日: 2014-08-13
发明(设计)人: 梁森;王东山;李雪;张术国 申请(专利权)人: 青岛理工大学
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 王吉勇
地址: 266520 山东省青*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 平面 光刻 压印 紫外 灯光 结构
【权利要求书】:

1.一种滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构,其特征是,包括紫外灯光源和能够控制所述光源光照强度变化的控制电路,所述紫外灯光源包括抛物面型灯罩、紫外灯管和凸透镜柱,所述紫外灯管安装在所述灯罩的抛物线焦点上,凸透镜柱安装在抛物面的开口处,凸透镜柱的一个焦点在滚对平面式光刻压印的加工区域上,也就是凸透镜柱的焦点位于滚筒模具表面和衬底的切线上;所述紫外灯光源与滚筒模具的芯轴之间在辊压印模具绕芯轴旋转时,保持位置不变;

所述控制电路包括固定安装于滚筒模具一侧端面芯轴上的感应线圈探头,且前述滚筒模具端面上均匀且磁极极性交替变化地安装有多个能与感应线圈探头对应的永磁体,感应线圈探头经放大电路和整流电路与紫外灯管相连形成一闭合回路。

2.一种滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构,其特征是,包括紫外灯光源和能够控制所述光源光照强度变化的控制电路,所述紫外灯光源包括抛物面型灯罩、紫外灯管和凸透镜柱,所述凸透镜柱的一个焦点与抛物线型灯罩共焦点,紫外光灯管安装于该共焦点上,凸透镜柱安装在抛物面的开口处,凸透镜柱另一个焦点在滚对平面式光刻压印的加工区域上,也就是凸透镜柱的焦点位于滚筒模具表面和衬底的切线上;所述紫外灯光源与滚筒模具的芯轴之间在辊压印模具绕芯轴旋转时,保持位置不变;

所述控制电路包括固定安装于滚筒模具一侧端面的芯轴上的感应线圈探头,且前述滚筒模具端面上均匀安装有多个磁极极性交替变化且能与感应线圈探头对应的永磁体,感应线圈探头经放大电路和整流电路与紫外灯管相连形成一闭合回路。

3.如权利要求1或2所述的紫外灯光源结构,其特征是,所述抛物面型灯罩开口的大小小于2倍滚筒模具内部半径。

4.如权利要求1或2所述的紫外灯光源结构,其特征是,所述感应线圈探头中心正对永磁体。

5.如权利要求1或2所述的紫外灯光源结构,其特征是,所述线圈探头的端面与永磁体相距1-2mm。

6.如权利要求1或2所述的紫外灯光源结构,其特征是,所述放大电路是晶体管放大器,其输入端与感应线圈探头的输出端相连,晶体管放大器与整流电路相接,经整流后的电信号直接输入到紫外灯管中。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛理工大学,未经青岛理工大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420123168.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top