[实用新型]一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板有效
| 申请号： | 201420120814.4 | 申请日： | 2014-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN203807551U | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 林朝晖;王树林;乔学明;于莉莉 | 申请（专利权）人： | 泉州市博泰半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建省泉州市鲤城区高*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制作 太阳能电池 片时 用于 硅片 沉积 | ||
【权利要求书】：
1.一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其特征在于，所述载板由底板和盖板组合；所述底板为带有边框的凹槽托板；所述凹槽托板用于承载硅片；所述盖板与底板相配，为带有中间镂空槽的定位框；所述凹槽托板承载的硅片边缘部分在盖板和底板组合后被定位框遮掩。
2.根据权利要求1所述的一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其特征在于，所述底板边框上至少有两个定位插脚，所述盖板的定位框上至少有两个定位孔，所述定位插脚与定位孔相对应。
3.根据权利要求1所述的一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其特征在于，所述底板的凹槽托板中间为镂空的。
4.根据权利要求1所述的一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其特征在于，所述载板可由A×B的多个载板拼接而成，其中A≥1，B≥1。
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