[实用新型]一种覆胶固晶系统有效
| 申请号： | 201420116355.2 | 申请日： | 2014-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN203774360U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 孙亚雷;米广辉;罗尚峰 | 申请（专利权）人： | 深圳翠涛自动化设备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市宝安区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 覆胶固 晶系 | ||
【权利要求书】：
1.一种覆胶固晶系统，其特征在于，包括：
晶圆盘，用于放置晶粒；
胶盘，用于对该晶粒的底部进行黏胶处理；
载体，用于提供该晶粒的待固晶位；
固晶臂，用于拾取晶圆盘上的晶粒，并通过该固晶臂将所述晶粒送至胶盘工位进行黏胶处理，再通过该固晶臂将黏胶处理后的晶粒粘焊在载体上的待固晶位；
所述固晶臂以直线、摆动或旋转的运动方式到达预定工位，所述晶圆盘、胶盘、载体依次设置在所述固晶臂运动轨迹的对应工位上。
2.根据权利要求1所述的覆胶固晶系统，其特征在于，所述固晶臂端部设置有拾取装置，所述拾取装置通过夹持、电磁吸附或真空吸附的方式将晶圆盘上顶起的晶粒抓住。
3.根据权利要求1所述的覆胶固晶系统，其特征在于，还包括：
驱动电机，所述驱动电机的驱动端套接有旋转安装座，所述固晶臂可上下运动地安装在所述旋转安装座上。
4.根据权利要求3所述的覆胶固晶系统，其特征在于，所述旋转安装座上间隔设置有若干个固晶臂。
5.根据权利要求2所述的覆胶固晶系统，其特征在于，还包括：
清洗盘，用于固晶后对固晶臂端部的拾取装置上的抓取物表面进行清洁处理。
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