[实用新型]多功能电解减薄仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种减薄仪，尤其涉及一种多功能电解减薄仪，属于试样制备机械领域。

背景技术

双喷电解减薄法是利用金属表面微观凸点在特定电解液中和适当电流密度下﹐首先发生阳极溶解的原理进行抛光的一种电解加工﹐又称电抛光。用喷头喷出的电解液在电流的作用下冲刷已经约50μm厚的样片，直到样片穿孔，在微孔的圆周会形成一圈从薄到厚的楔形薄区，这些薄区中总有符合透射电子束穿透的区域，从而实现微观组织结构分析的目的。

据申请人了解，现有的电解双喷减薄仪主要由两种：第一种为磁力驱动双喷电解减薄仪，包括电源控制和光感反馈系统、带马达的磁力转子、电解液槽、磁力泵、样品夹、正极和负极导线，样品在经过液氮制冷后的电解液作用下厚度逐渐减小，最终得到样品孔边缘在100nm以下的金属圆片；第二种双喷电解减薄仪束流通过马达直接驱动的涡轮泵转速来控制。与第一种相比，第二种双喷电解减薄仪的电解液利用半导体技术制冷，电流和电压通过软件控制，并且可在电脑上用专门的软件直接观察样品的穿孔情况。

现有的电解减薄仪的只能冲出直径为3mm的金属圆薄片，且很难对表面处理后样品的特定区域进行减薄，同时设备在维护方面操作困难。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种适用于无规则形状或直径不足3mm的透射电镜样品制备，便于设备清理维护的多功能电解减薄仪。

为了解决以上技术问题，本实用新型提供一种多功能电解减薄仪，包括电解液槽、电解装置、电解液循环装置、水平面板以及设置于水平面板中心的可拆卸式样品夹，电解装置包括电解阳极和电解阴极，电解阳极设置于样品夹内，电解阴极接至电解液槽，电解液循环装置包括两个中间设有可换式喷头的液体引流装置和涡轮泵，各液体引流装置的上端固接水平面板，各液体引流装置的下端分别接涡轮泵的液体进口端和液体出口端，涡轮泵的液体进口端设有液体束流控制阀门。

工作时，涡轮泵将带负电的液体通过引流装置输送到喷头处形成两束对流的水平液柱，当水平液柱接触到安装在样品夹上带正电的样品时，样品作为阳极发生腐蚀。通过控制束流控制阀门可以控制一端束流的大小，使样品两侧发生不同的电解速率。

本实用新型进一步限定的技术方案是：

优选地，样品夹包括样品夹主体以及设于样品夹主体内部的电解阳极，样品夹主体的底端设有两个在同轴向上相对的槽孔，两槽孔之间设有铂金片，铂金片接电解阳极。

通过更换配套的喷头与样品夹，可以制备出直径不足3mm或者无规则形状的透射电镜样品。

优选地。样品夹主体的上端两侧设有凹槽。便于样品夹的手持拆卸。

优选地，槽孔采用圆锥形结构。

优选地，水平面板放置于电解液槽上。独立的电解液槽，便于回收使用过后的电解液。

优选地，电解液槽上与喷头同轴的位置设有相对的两个观察窗。可以有效的观察和监控电解液槽内的工作情况。

本实用新型的有益效果是：

该设备通过控制液体束流的大小自由调节样品两侧的减薄速率，并通过更换配套的样品夹与喷头不仅可以制备直径为3mm的薄圆片，还可以用于制备直径不足3mm或者无规则形状的透射电镜样品；本实用新型使用独立的电解液槽，方便电解液的回收，并且避免残余电解液腐蚀零件，便于设备的维护修理。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型样品夹结构示意图。

图3为本实用新型制备的样品示意图。

具体实施方式

实施例1

本实施例提供的多功能电解减薄仪，结构如图1所示，包括电解液槽1、电解装置、电解液循环装置、水平面板8以及设置于水平面板8中心的可拆卸式样品夹6，电解装置包括电解阳极7和电解阴极，电解阳极7设置于样品夹6内，电解阴极接至电解液槽1，电解液循环装置包括两个中间设有可换式喷头4的液体引流装置9和涡轮泵2，各液体引流装置9的上端固接水平面板8，各液体引流装置9的下端分别接涡轮泵2的液体进口端和液体出口端，涡轮泵2的液体进口端设有液体束流控制阀门5，两液体引流装置9、两喷头4均关于同一对称轴对称，电解液槽1上与喷头4同抽的位置设有相对的两个观察窗3。

本实用新型样品夹6如图2所示，包括样品夹主体11以及设于样品夹主体11内部的电解阳极7，样品夹主体11的底端设有两个在同轴向上相对的圆锥形槽孔，两槽孔之间设有铂金片11，铂金片11接电解阳极7，样品夹主体11的上端两侧设有便于手持拆卸的凹槽。