[实用新型]一种多晶硅铸锭炉底部助凝装置有效
申请号: | 201420114344.0 | 申请日: | 2014-03-13 |
公开(公告)号: | CN203795012U | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 蒋兴贤 | 申请(专利权)人: | 常州兆晶光能有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213000 江苏省常州市武*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 底部 装置 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉底部助凝装置,其特征在于,包括炉架、隔热花板、下炉体、方环隔热板、隔热垫、陶瓷坩埚、石墨护板、硅料、形核涂层、定向助凝块、支撑柱、冷却岛、起重电机、外隔热笼、内隔热笼、提升机构、铜馈入管、惰性气体管、上炉体和加热器;所述炉架支撑上炉体和下炉体,所述下炉体通过底部的起重电机驱动与上炉体扣合打开或关闭,并设置有控制升降隔热花板的机构;所述下炉体内设置有支撑柱;所述炉体中设置有套层隔热笼,包括内隔热笼和外隔热笼,通过提升机构可以分别控制提升或下降;所述内隔热笼下部沿四周等距离均匀设置有多层散热锥孔,所述坩埚四周设置有石墨护板,所述坩埚底部与石墨护板相接,所述石墨护板下方设置有定向助凝块,所述定向助凝块下方设置有隔热底板和升降隔热板,所述上炉体内坩埚四周和上方设置有多组加热器,所述坩埚内装填有待熔融硅料。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉底部助凝装置,其特征在于,所述隔热花板为多个扇形片拼接结构,通过正多边形框架固定在一起,在所述的多边形框架上,设置有可以单向转动的限位轴,每个组成正多边形的扇形均可围绕限位轴向上方单向转动。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉底部助凝装置,其特征在于,所述冷却岛设置于下炉体底部,是不锈钢球体夹层结构,内部冷却水与下炉体冷却系统一同循环,所述冷却岛通过撑顶将下降的隔热花板单向转动的扇形片向上方顶开,并呈倾斜状态。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉底部助凝装置,其特征在于,所述散热锥孔至少设置二层,每层散热孔至少设置5个以上,所述散热锥孔外孔直径为80mm—220mm;内孔直径为60mm—165mm;所述散热锥孔从下至上,逐层孔径缩小,缩小直径距离为10mm—50mm;所述散热锥孔层间距为下层孔径的二分之一。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉底部助凝装置,其特征在于,所述陶瓷坩埚内底面经过预处理,所述坩埚内部底面喷制有石英砂成核涂层,所述坩埚内表面喷涂有氮化硅涂层。
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