[实用新型]一种成像傅里叶变换光谱测量用扫描干涉仪装置

权利要求书

1.一种成像傅里叶变换光谱测量用扫描干涉仪装置，由一个分束器，一个动臂和一个静臂组成，静臂也称为参考臂；其特征在于所述动臂和静臂共享同一个固定的双面平面反射镜，此双面平面反射镜的两个反射面分别垂直反射动臂和静臂的入射光束返回至分束器；所述静臂光路插有补偿板，以补偿两臂之间光程差。 

2.根据权利要求1所述的成像傅里叶变换光谱测量用扫描干涉仪装置，其特征在于所述分束器是非偏振50∶50分光比型分束器，所述分束器位于成像傅里叶变换光谱仪光收集系统产生的准直光路上，经分束器分束的透射和反射光束互相垂直，干涉仪的入射光束与出射光束互相垂直；分束器是常规的立方体分束器，或是一种平行四边体分束器。 

3.根据权利要求1所述的成像傅里叶变换光谱测量用扫描干涉仪装置，其特征在于所述动臂由一个空心角锥回射器、一个直线平移台和一个固定的双面平面反射镜组成；所述空心角锥回射器位于所述分束器的反射或透射光路上，且锥角背向所述分束器，所述空心角锥回射器的直线往复扫描运动由其所处的直线平移台驱动，所述固定的双面平面反射镜反射面垂直于所述角锥回射器的回射光路。 

4.根据权利要求1所述的成像傅里叶变换光谱测量用扫描干涉仪装置，其特征在于所述静臂由同一个双面平面反射镜、一块光程差补偿板和一个45°反射镜组成；所述45°反射镜位于静臂光路上，其反射面与入射光路成45°角，所述补偿板的入射和出射面垂直于所述45°反射镜的反射光路，所述固定的双面平面反射镜反射面垂直于所述45°反射镜的反射光路。 

5.根据权利要求2所述的成像傅里叶变换光谱测量用扫描干涉仪装置，其特征在于所述的平行四边体分束器为实心玻璃制成，两相邻工作面所夹锐角为 45°，一对相对的平行的工作面为分光面和反光面，另一对相对的平行的工作面为光束出入射面；所述分光工作面加镀多层介质膜，所述反光工作面加镀金属膜，所述两个出入射工作面加镀增透膜。 

6.根据权利要求4所述的成像傅里叶变换光谱测量用扫描干涉仪装置，其特征在于所述的45°反射镜使用平面金属镀膜反射镜，或使用斜面镀金属膜的45°玻璃直角棱镜；采用玻璃直角棱镜作为45°反射镜可以起到补偿板增加光程的作用，其直边出入射工作面加镀增透膜。 

7.根据权利要求1或4所述的成像傅里叶变换光谱测量用扫描干涉仪装置，其特征在于所述双面平面反射镜的两个工作面平行，为双面镀金属膜的玻璃平板，或单面镀金属膜的实心玻璃平板；采用单面镀金属膜的玻璃平板作为反射镜时，金属镀膜面朝向空心角锥反射器，另一面加镀增透膜，玻璃基板可以起到补偿板增加光程的作用。