[实用新型]一种用于测试光路与成像光路同轴的光路系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及无损检测领域，具体来说，涉及X射线观测使用的一种光路系统。

背景技术

在对样品使用X射线等手段进行分析过程中，不仅需要具有产生X射线等射线的射线源也需要相应的射线通道，才能对样品进行射线照射产生光谱以对样品成分等特征进行分析，但在同时依然需要通过可见光让技术人员对样品的位置以及检测的部分进行调节，在常规光路系统中，由于射线光路和可见光路存在一定的重合并且由于存在通过X射线等的射线通道，极易造成对样品形成可见光的影像的较大影响，如图1所示，途中显示为常规光路系统中的结构，其中1为检测系统，2为反射镜，3为反射镜基座，301为X-ray通孔，4为样品台。

当在对样品进行X射线分析时，需要操作人员对样品台4上的样品需要分析的部分进行位置调节；此时由于X-ray通孔301的存在，X射线需要从X-ray通孔301中透过，照射到样品台4上，轰击样品，由于X射线在样品台4上的照射位置，需要通过反射镜2在检测系统1的相机上成像，以确定X射线轰击在样品上的具体位置，由于反射镜2上有X-ray通孔301，会影响X射线在待检件照射处的成像质量形成黑斑，而黑斑位置往往正是需要观测的测试点的位置，由于黑斑的存在，没法实现测试点的成像，如图2所示，即为X-ray通孔301在可见光影像上造成的黑斑，使得操作人员无法对待测样品进行位置和检测部位的调节，因此需要提出一种结构解决此问题。

发明内容

有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本实用新型提供了一种用于测试光路与成像光路同轴的光路系统，包括测试光路、成像光路、入射及反射部件，所述测试光路和所述成像光路安装在所述入射及反射部件两侧，成反射镜像对称；

所述入射及反射部件包括反射镜，所述反射镜倾斜安装且具有设置在所述反射镜中心部位的贯通通孔，测试光线由所述贯通通孔射入并进入所述测试光路；

所述测试光路包括样品台具有通孔的准直孔装置，所述样品台安装在所述测试光路的一侧，可沿安装轴线进行位置移动，所述准直孔装置安装在所述入射及反射部件和所述样品台之间；

所述成像光路包括胶合组镜组和CCD靶面，所述胶合组镜组安装在所述成像光路一侧，所述胶合组镜组中轴线与所述测试光路中轴线关于所述反射镜的法向呈镜面反射对称，所述胶合组镜组包括静胶合组镜和动胶合组镜，所述静胶合组镜固定安装，所述动胶合组镜动态安装在所述静胶合组镜和所述CCD靶面之间，可沿所述成像光路轴线进行位置移动；所述CCD靶面安装在所述胶合组镜组的后侧。

X射线从所述贯通通孔通过，经过所述准直孔装置，照射到所述样品台上，轰击样品，而可见光由待测样品上通过所述准直孔装置经所述反射镜进行反射，X射线则无法通过所述准直孔装置，经过胶合组镜组对可见光进行折射等光线弯曲行为，在所述CCD靶面上进行成像，可以避免所述贯通通孔在常规光学系统（如图1所示）中出现的遮蔽待测样品影像的黑斑，如图2、3、4出现的情况，可以使得操作人员更容易的对待测样品进行观察和调节。

根据本实用新型背景技术中对现有技术所述，常规光学系统仅仅利用光线的反射原理进行对待测样品的观测，由于贯通通孔的存在而造成的对待测样品可见光影像的影响，如图1-4所示，使得操作人员难以进行待测样品位置调节，因此往往会出现分析不准确的现象；而本实用新型提供的用于测试光路（X荧光）与成像光路（可见光）同轴的光路系统通过使用胶合组镜组使得光线进行弯曲，使得待测样品的影像可以避开所述贯通通孔形成的黑斑，使得操作人员更加容易的进行位置调节。

另外，根据本实用新型公开的用于测试光路（X荧光）与成像光路（可见光）同轴的光路系统还具有如下附加技术特征：

进一步地，所述测试光路为X射线测试光路，所述成像光路为可见光成像光路。 

进一步地，所述反射镜安装在安装装置上，所述安装装置上有与所述贯通通孔相通的入射通孔，所述反射镜需要固定安装，而所述安装装置起到位置固定的作用，同时所述入射通孔则与所述贯通通孔保持一致，保证入射X射线的准确和完全入射。

进一步地，所述样品台和所述反射镜反射中心距离与所述动胶合组镜和所述反射镜反射中心距离之间的关系为同向非线性关系。

所述胶合组镜由凹凸透镜组合而成，所述动胶合组镜和所述样品台在各自运动轨迹上遵循光线的折射规律，并且在各自位置上根据上述关系一一对应。

进一步地，所述准直孔装置上表面与所述反射镜反射中心垂直距离为大于等于10mm小于于等于30mm。

优选地，此垂直距离为10、15、20、25、30mm。