[实用新型]一种二次元量测设备系统误差补偿装置有效
申请号: | 201420101054.2 | 申请日: | 2014-03-07 |
公开(公告)号: | CN203772218U | 公开(公告)日: | 2014-08-13 |
发明(设计)人: | 郑杰仁 | 申请(专利权)人: | 昆山万像光电有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二次元 设备 系统误差 补偿 装置 | ||
1.一种二次元量测设备系统误差补偿装置,是由主线轨、辅线轨、工作平台、光栅尺、上横梁、中横梁、下横梁、中竖梁、右竖梁、左竖梁和主梁组成,其特征在于:所述的主梁为工作平台上;所述的主线轨和辅线轨位于主梁的两端;所述的光栅尺位于主梁的中间。
2.根据权利要求1所述的一种二次元量测设备系统误差补偿装置,其特征在于:所述的上横梁、中横梁和下横梁与主梁平行从上倒下依次排列。
3.根据权利要求1所述的一种二次元量测设备系统误差补偿装置,其特征在于:所述的中竖梁、右竖梁和左竖梁与光栅尺平行从左到右依次排列。
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