[实用新型]石墨模具涂层加工设备有效
申请号: | 201420091348.1 | 申请日: | 2014-03-03 |
公开(公告)号: | CN203728925U | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 邵长涛 | 申请(专利权)人: | 青岛金时特碳素有限公司 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46;C23C16/26;C04B41/87 |
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地址: | 266000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 模具 涂层 加工 设备 | ||
1.一种石墨模具涂层加工设备,其特征在于,包括至少一个真空炉,所述真空炉连接有用于抽真空的真空泵、用于给真空炉内输送氧气的氧气瓶和用于给真空炉输送丙烷气体的丙烷气瓶;每个真空炉内设置有用于加热炉内气体与石墨模具的铜排,所述铜排通过导线与整流柜连接。
2.根据权利要求1所述的石墨模具涂层加工设备,其特征在于,所述真空泵连接有主管道,所述主管道上连通有若干与每个真空炉对应的分管道,每个分管道分别对应与每个真空炉连通。
3.根据权利要求1所述的石墨模具涂层加工设备,其特征在于,在每个分管道上分别设置有气阀。
4.根据权利要求1所述的石墨模具涂层加工设备,其特征在于,每个真空炉上安装有一块气压表。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的