[实用新型]可调角度的轨道结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路物料输送系统技术领域，尤其涉及一种可调角度的轨道结构。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统（Automated Material Handling Systems，简称AMHS）作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。

现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车，往返于各个机台之间（tool to tool输送模式），或往返于机台与暂存区Stocker之间（走道间系统interbay与走道内系统intrabay）。

一般而言，AMHS系统的轨道结构采用的是硬性导轨连接（也叫刚性导轨连接），即直线连接或90°转角连接。硬性连接式的轨道结构，其导轨方向都有一定的限制，无法进行微调，必须按照原有规划的路线排布，OHT输送车也必须按照导轨原有的方向行进。AMHS系统中OHT输送车行进的轨道是按照下方机台的分布来排布的，在一些如研发性的流水线中，往往需要及时更新规划路线，当下方机台需要进行位置的微调来满足工艺现场的需要时，与之配套的轨道结构就无法进行位置和方向微调节，不能匹配机台的不同位置，也失去了对其进行自动化生产的能力。如果增设支路导轨，不仅成本增加，轨道结构的总重量也会增加，势必影响系统的稳定性和安全性，控制程序也必须进行修改以适用于增设的支路轨道。

实用新型内容

本实用新型的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种可调角度的轨道结构，以根据机台的位置对导轨的位置和路径方向进行微调节，满足自动物料传输系统的需要。

为实现上述目的，本实用新型提供一种可调角度的轨道结构，其包括两段导轨及两段导轨之间的导轨连接件，该导轨连接件为圆柱形且其侧壁具有弧形凹槽，该两段导轨的连接端均设有凸块，该凸块嵌入弧形凹槽中以使导轨连接件连接两段导轨，一固定件贯穿该凸块以及该凹槽上下的导轨连接件本体。

进一步地，该两段导轨的连接端为内凹弧形，其沿连接方向设有内凹弧形的凸条，并与导轨连接件的圆柱形侧壁和弧形凹槽相匹配。

进一步地，该导轨连接件的侧壁具有一圈弧形凹环，或具有两段弧形凹槽分别对应两段导轨连接端的凸块。

进一步地，该弧形凹槽上下的导轨连接件本体设有两个圆孔，该凸块上设有一条弧形通孔，该固定件贯穿该弧形通孔及两个圆孔以调节导轨角度并固定连接导轨与导轨连接件。

进一步地，该弧形凹槽上下的导轨连接件本体设有两条弧形通孔，该凸块上设有圆孔，该固定件贯穿该两个弧形通孔及圆孔以调节导轨角度并固定连接导轨与导轨连接件。

本实用新型还提供一种可调角度的轨道结构，其包括两段导轨及两段导轨之间的导轨连接件，该导轨连接件为圆柱形且其侧壁具有弧形凸条，该两段导轨的连接端均设有凹槽，该弧形凸条嵌入凹槽中以使导轨连接件连接两段导轨，一固定件贯穿该弧形凸条以及该凹槽上下的导轨本体。

进一步地，该两段导轨的连接端为内凹弧形，其沿连接方向设有内凹弧形的凹槽，并与导轨连接件的圆柱形侧壁和弧形凸条相匹配。

进一步地，该导轨连接件的侧壁具有一圈弧形凸环，或具有两段弧形凸条分别对应两段导轨连接端的凹槽。

进一步地，该凹槽上下的导轨本体设有两个圆孔，该弧形凸条上设有一条弧形通孔，该固定件贯穿该弧形通孔及两个圆孔以调节导轨角度并固定连接导轨与导轨连接件。

进一步地，该凹槽上下的导轨本体设有两条弧形通孔，该弧形凸条上设有圆孔，该固定件贯穿该两个弧形通孔及圆孔以调节导轨角度并固定连接导轨与导轨连接件。

本实用新型提供的两种可调角度的轨道结构，通过两段导轨和导轨连接件相互的弧形匹配以及各自凹槽和凸块的嵌入配合，加以固定件的穿入，可以实现导轨沿着导轨连接件圆形侧壁的转动，从而调节两段导轨的角度，当轨道结构下方机台的位置发生了变化，就可以采用本实用新型提供的轨道结构，随时调整轨道的位置，使OHT输送车的行径方向和路线发生微调，以适应于新的机台位置，满足生产的需要。

附图说明

为能更清楚理解本实用新型的目的、特点和优点，以下将结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细描述，其中：

图1a至1c是本实用新型第一实施例的轨道结构俯视图；