[实用新型]用于AMHS输送车的传动结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路物料输送系统技术领域，尤其涉及一种用于AMHS输送车的传动结构。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。为了增加传送效率，降低输送错误率，一个功能强大且性能稳定的自动化物料传输系统（Automated Material Handling Systems，简称AMHS）在300mm工厂里扮演了一个非常重要的角色。AMHS系统不仅可以有效的利用宝贵的洁净室的生产空间，并且还可以提高生产设备的利用率，缩短在制品生产时间，所以在很多的300mm的半导体工厂里，AMHS都被视为可以快速提升产能，增加生产效率的尖兵利器。

现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车，往返于各个机台之间（tool to tool输送模式），或往返于机台与暂存区Stocker之间（走道间系统interbay与走道内系统intrabay）。

输送车作为AMHS系统的一部分，从第一代十几年前只能低速走行单线轨道，只能移植装载位于其正下方的硅片盒，到第二代可以高速走行在分歧轨道，第三代不仅可以走行在分歧轨道，还可以左右移载设置在STS、UTS上的硅片盒，再到第四代450mm搬运小车，更新速度可谓非常之快。一般的输送车为抓取硅片盒通常采用传动皮带垂直升降相应的抓取模块抓取机台上的硅片盒。一般的输送车距离地面3米以上，由于其高度较高，又要尽量快速且平稳的运送抓取重达9公斤的硅片盒，所以输送车传动模块的稳定性很重要。

输送车的抓取模块由传动模块中的四根传动皮带负责控制升降，四根皮带内均安装控制抓取模块的信号传输线路，由于300mm的硅片盒重量较200mm的硅片盒增加不少，皮带的负重增加，皮带多次升降后会难免会产生变形，并且对其中的安装的线路造成损害；此外，若某条线路发生故障，也无法得知是四根皮带中的哪一根损坏，给故障的处理和解决带来不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种用于AMHS输送车的传动结构，通过承重单元和线路单元相分离，解决由于传动结构中皮带变形导致内部线路的损坏，也便于处理和解决故障。

为实现上述目的，本实用新型提供一种用于AMHS输送车的传动结构，其包括固定于输送车车体的四个传动轮、各传动轮上的传动皮带以及与四根传动皮带下方连接的抓取模块，其中，该四根传动皮带中包括三根承重皮带和一根线路皮带，该线路皮带内部中空以贯穿线路，该线路分别与输送车车体以及抓取模块相连。

进一步地，该三根承重皮带均为实心。

进一步地，该三根承重皮带的排布为非一直线。

进一步地，该三根承重皮带的排布为等边三角形。

进一步地，该线路包括信号传输线路和供电线路。

本实用新型提供的用于AMHS输送车的传动结构，将原本四根传动皮带内的线路集成到一根传动皮带中，构成线路皮带，其余三根内不设置线路，构成承重皮带，实现承重单元和线路单元的分离，即使承重皮带在升降多次后变形，也不会影响线路皮带内的线路，提高了输送车和AMHS系统的安全性和稳定性，延长了传动结构的使用寿命；其次，利用三点成面的原理，三根承重皮带的设置已经能满足抓取模块调整水平度的要求；再者，由于只有一根皮带内置信号传输线路和供电线路，在线路发生故障时，可以直接对该线路皮带进行检修，减少了处理和解决故障的时间，提高了AMHS系统的工作效率。

附图说明

为能更清楚理解本实用新型的目的、特点和优点，以下将结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细描述，其中：

图1是本实用新型第一实施例输送车的结构示意图。

具体实施方式

请参阅图1，本实施例的用于AMHS输送车的传动结构，作为悬吊式AMHS系统中OHT输送车的一部分，包括固定于输送车车体11的四个传动轮12、各传动轮上的传动皮带13以及这四根传动皮带13下端所连接的抓取模块14，抓取模块14下端具有抓手，用于从机台、暂存设备（Stocker）等设备上取放硅片盒2。