[实用新型]一种激光快速分离光学晶体装置

权利要求书

1.一种激光快速分离光学晶体装置，其特征在于，该装置包括微裂纹预制机构、单焦点激光加工系统和二维工作台； 

所述二维工作台用于固定晶体，其四角安装有能提供拉力的弹簧，二维工作台表面为气浮或者分离路径镂空； 

所述微裂纹预制机构位于所述二维工作台一侧，用于在待加工光学晶体上设置一个分离方向和产生初始微裂纹； 

所述单焦点激光加工系统位于所述二维工作台上方，用于提供聚焦激光，并对初始微裂纹上形成一条激光微裂缝及最终实现晶体高质量分离。 

2.根据权利要求1所述的激光快速分离光学晶体装置，其特征在于，所述微裂纹预制机构包括依次位于一条光路上的超快激光器、第二反射镜、第二扩束镜、激光振镜，第一、第二大尺寸透镜，显微聚焦物镜和第二Z轴移动机构；其中激光振镜，第一、第二大尺寸透镜以及显微聚焦物镜依次排列固定于第二Z轴移动机构上。 

3.根据权利要求1或2所述的激光快速分离光学晶体装置，其特征在于，所述微裂纹预制机构包括一个二维导轨平台、一个伺服电机以及微型金刚石砂轮；伺服电机固定于二维导轨平台之上，金刚石砂轮以垂直于电机轴的方向安置于电机轴之上；伺服电机用于带动金刚石砂轮高速转动，并随着导轨Z轴方向轻微移动。 

4.根据权利要求1或2所述的激光快速分离光学晶体装置，其特征在于，所述单焦点激光加工系统包括依次位于一条光路上的普通大功率激光器、第一扩束镜、第一反射镜、聚焦透镜和第一Z轴移动机构；聚焦透镜固定在第一Z轴移动机构上，通过改变聚焦透镜的位置，能够改变激光焦点伸入晶体内的深度。 

5.根据权利要求3所述的激光快速分离光学晶体装置，其特征在于，所述单焦点激光加工系统包括依次位于一条光路上的普通大功率激光器、第一扩束镜、第一反射镜、聚焦透镜和第一Z轴移动机构；聚焦透镜固定在第一Z轴移动机构上，通过改变聚焦透镜的位置，能够改变激光焦点伸入晶体内的深度。