[实用新型]角度可调的喷嘴安装结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种角度可调的喷嘴安装结构，属于集成电路工艺清洗技术领域。

背景技术

在集成电路的制造过程中，光掩模是集成电路设计载体，且光掩模的质量决定半导体芯片的运行速度和可靠性。而清洗工艺是光掩模的制作过程中必不可缺少的工序,其清洗效果也会直接影响光掩模质量。目前最先进的清洗工艺是将光掩模放置于卡盘上,然后机械手抓住卡盘,并将其移动至翻转装置上，通过翻转装置将卡盘上的光掩模翻转,然后机械手再次抓住卡盘,并将其依次移动至各个不同的工艺腔内进行清洗,清洗完成后机械手抓住卡盘底部的把手,并将其送回翻转装置上,翻转装置再次将卡盘上的光掩模翻转,最后机械手抓住卡盘,并将其送回初始位置。

光掩模在清洗的过程中，是将卡盘设置在处理舱内，通过设安装在处理舱上的多个喷嘴将所需的清洗液喷向光掩模。但于光掩板有多种不同尺寸和形状，为此需要经常调节喷嘴的方向才能满足不同尺寸光掩膜的清洗要求。目前的喷嘴是直接安装在处理舱上，使喷嘴角度其调节有限，因此不能满足喷嘴大角度的调节要求。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单，调节喷嘴角度范围大、操作方便，密封性能好的角度可调的喷嘴安装结构。

本实用新型为达到上述目的的技术方案是：一种角度可调的喷嘴安装结构，包括内设有空腔的处理舱和沿处理舱周边设置至少两个喷嘴，其特征在于：所述的处理舱周边设有两个以上的压板槽，至少两个喷嘴压板通过紧固件安装在处理舱自各对应的压板槽处，设置在喷嘴压板上的至少一个喷嘴通过密封圈压接在处理舱的喷孔处。

本实用新型将喷嘴设置在喷嘴压板上，而喷嘴压板通过紧固件安装有处理舱的压板槽处，通过喷嘴压板将喷嘴和密封圈压接在处理舱的喷孔处，以确保喷淋液不会顺着喷嘴倒流。本实用新型可通过松开喷嘴压板，即可调节喷嘴角度的喷射方向，当喷嘴角度调节好后，再通过紧固件将喷嘴压板固定在处理舱上，能实现喷嘴角度在较大的范围内调节，达到大角度喷淋效果。本实用新型结构简单、合理，喷嘴角度调节操作方便，喷嘴与处理舱的密封性能好，能满足不同尺寸的光掩膜的清洗。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步的详细描述。

图1是本实用新型角度可调的喷嘴安装结构的结构示意图。

图2是图1的A-A剖视结构示意图。

图3是图2的I处放大结构示意图。

其中：1—处理舱，1-1—压板槽，1-2—喷孔，1-3—压板拉杆，2—喷嘴压板，2-1—槽孔，3—喷嘴，4—紧固件，5—密封圈。

具体实施方式

见图1～3所示，本实用新型的角度可调的喷嘴安装结构，包括内设有空腔的处理舱1和沿处理舱1周边设置至少两个喷嘴3，卡盘工装设置在处理舱1内。见图1～3所示，本实用新型在处理舱1周边设有两个以上的压板槽1-1，可沿处理舱1的中心等分设置，该处理舱1可采用圆形或矩形，至少两个喷嘴压板2通过紧固件4安装在处理舱1自各对应的压板槽1-1处，见图1所示，可通过设置在喷嘴压板2周边或/和中间的紧固件4将喷嘴压板2安装在处理舱1的压板槽1-1处，设置在喷嘴压板2上的至少一个喷嘴3通过密封圈5压接在处理舱1的喷孔1-2处，喷嘴压板2上设有安装孔或安装槽，将喷嘴3设置在喷嘴压板2上的安装孔或安装槽内，本实用新型可将一个喷嘴或两个喷嘴或更多个喷嘴设置在喷嘴压板2上，通过喷嘴压板2将喷嘴3安装在处理舱1上，当需要调节喷嘴角度时，松开紧固件4使喷嘴压板2活动，即可对喷嘴角度进行调节，当喷嘴角度调节完毕后，通过紧固件4将喷嘴压板2固定在处理舱1上，使各喷嘴3经密封圈5与处理舱1的喷孔1-2密封，确保喷淋液不会顺着喷嘴倒流，调节喷嘴角度方便快捷。

见图1～3所示，本实用新型喷嘴压板2上设有至少一个槽孔2-1，具有球面的喷嘴3设置在喷嘴压板2的槽孔2-1内，喷嘴3的球面设置在处理舱1台阶形的喷孔1-2处，安装在喷孔1-2台阶处的密封圈5与喷嘴3的球面压接，使喷嘴3与处理舱1形成良好的密封性能。

见图2、3所示，本实用新型处理舱1位于压板槽1-1处固定有至少两个压板拉杆1-3，该压板拉杆1-3可采用金属件，压板拉杆1-3设有螺纹孔，紧固件4穿过喷嘴压板2旋接在压板拉杆1-3上，将喷嘴压板2可靠的安装在处理舱1上。