[实用新型]抗蚀剂层的薄膜化装置有效
| 申请号： | 201420075013.0 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN203825368U | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 丰田裕二;后闲宽彦;川合宣行;中川邦弘 | 申请（专利权）人： | 三菱制纸株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 崔幼平;李婷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂层 薄膜 化装 | ||
【权利要求书】：
1.一种抗蚀剂层的薄膜化装置，具备通过薄膜化处理液使抗蚀剂层中的光交联性树脂成分胶束化的薄膜化处理单元，和通过胶束除去液将胶束除去的胶束除去处理单元，其特征在于，胶束除去处理单元具有用于供给胶束除去液的胶束除去液供给喷雾，胶束除去液喷雾朝向单一方向。
2.如权利要求1所述的抗蚀剂层的薄膜化装置，其特征在于，在胶束除去液喷雾的喷射方向的下游侧设有胶束除去液回收用的排放部。
3.如权利要求2所述的薄膜化装置，其特征在于，胶束除去液回收用的排放部设置在胶束除去处理单元中相对于运送方向最前列和最后列的胶束除去液喷雾的喷射方向的下游侧。
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