[实用新型]一种盘状物的夹持装置及盘状物的旋转平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体晶片工艺技术领域，特别是涉及一种盘状物夹持装置及盘状物的旋转平台。

背景技术

在集成电路的生产工艺中，盘状物例如半导体晶片或硅片要经受如刻蚀、清洗、抛光、薄膜沉积等多种表面处理工序步骤。而在这些过程中，都需要通过夹持装置来支撑并夹持盘状物，现有的盘状物夹持装置大致分为三大类：第一类为夹持组件通过齿轮啮合对盘状物夹持；第二类为夹持组件通过磁力作用对盘状物夹持；第三类为夹持组件通过其它机械方式对盘状物夹持，例如美国专利US20120018940A1揭露了一种夹持装置，通过齿轮啮合从而实现对盘状物的夹持，由磁力来控制夹持装置的打开和闭合。

目前，市场上研制了一种新型电磁悬浮旋转平台，通入交变电流后，设有磁性装置的硅片平台会产生与环形定子相反的磁场，环形定子控制夹持部悬浮并驱动夹持部旋转。通过利用电磁力使得硅片承载平台稳定地悬浮于空中，提高了硅片承载平台的稳定性。现针对该电磁悬浮旋转平台，需研制一种新型且运动方式简便的夹持装置，方便机械手臂取放硅片并使硅片在悬浮平台上保持高速旋转。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种盘状物夹持装置及盘状物的旋转平台，方便机械手臂取放硅片。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种盘状物的夹持装置，包括夹持部、升降部、升降执行器；其中，所述夹持部包括环状体的可动基座；所述可动基座可上下运动且圆周方向上分布多个夹紧件，所述夹紧件的下方设有与之相配合用于承载盘状物的支撑件，所述夹紧件与所述支撑件之间可相对垂直运动；所述升降部的下端连接用于驱动所述升降部上下运动的升降执行器；所述升降部的上端控制所述可动基座的上下运动；当升降部抵推所述可动基座向上运动时，固定在所述可动基座上的夹紧件远离所述支撑件，用于取放盘状物；当升降部拉动所述可动基座向下运动时，所述夹紧件与所述支撑件相互接近直至夹紧盘状物。

优选的，所述升降部包括可上下运动的中空轴和推动件，所述中空轴下端与所述升降执行器相连，所述中空轴的上端与所述推动件固定连接。

优选的，所述夹持部还包括固定基座、外圈及下端部件；其中，所述可动基座的下方设有环形固定基座，所述固定基座的圆周方向上固定安装多个支撑件；所述固定基座下方设有所述外圈，所述外圈内设有磁性装置；所述下端部件与所述可动基座通过连接件固定连接；所述推动件推动所述下端部件，使所述下端部件进行上下动作。

优选的，所述的支撑件包括承载面和抵挡面，所述抵挡面具有用于限制所述盘状物的横向移动突起部，所述抵挡面抵靠所述盘状物的边缘；所述夹紧件包括用于装载盘状物的装载面和用于夹紧盘状物的夹紧面，所述装载面位于所述夹紧面的下方；所述夹紧件上设有供支撑件上下运动的半圆形凹槽，所述夹紧件的夹紧面与所述支撑件的承载面相配合夹紧盘状物，所述夹紧面与所述承载面之间的距离与盘状物的厚度相适应。

优选的，所述夹持部还包括固定基座、外圈及下端部件；其中，所述支撑件安装在所述可动基座上且所述支撑件相对于所述可动基座可上下活动，所述固定基座上设有与所述支撑件位置相应的顶杆，所述顶杆用于抵推所述支撑件，使所述支撑件与所述夹紧件之间的距离缩小；所述固定基座下方设有所述外圈，所述外圈内设有磁性装置；所述下端部件与所述可动基座通过连接件固定连接；所述推动件推动所述下端部件，使所述下端部件进行上下动作。

优选的，所述顶杆的上端为球形面。

优选的，所述的支撑件的上端包括承载面和抵挡面，所述抵挡面具有用于限制所述盘状物的横向移动的突起部，所述抵挡面抵靠所述盘状物的边缘，所述支撑件的下端设有限制支撑件向上运动的凸起块；所述夹紧件包括用于夹紧盘状物的夹紧面；所述夹紧件的夹紧面与所述支撑件的承载面相配合夹紧盘状物，所述夹紧面与所述承载面之间的距离与盘状物的厚度相适应。

优选的，所述支撑件的承载面为向承载面外表面凸出的圆弧面。

优选的，所述夹紧件的夹紧面设有锥形突起。

优选的，所述凸起块与所述可动基座之间设有弹性件。

优选的，所述推动件和所述下端部件之间设有防止两者相对滑动的吸引装置；或/且所述固定基座和所述可动基座之间设有防止两者相对滑动的吸引装置。

优选的，所述推动件和所述下端部件之间设有至少一组磁铁；或/且所述固定基座和所述可动基座之间设有至少一组磁铁。

优选的，所述支撑件的数量不少于所述夹紧件的数量。