[实用新型]一种能够回收再利用的衬底

权利要求书

1.一种能够回收再利用的衬底，其特征在于，包括：

生长衬底；

预置转换层；

所述预置转换层能够将所述生长衬底转换为反射衬底。

2.根据权利要求1所述的一种能够回收再利用的衬底，其特征在于，所述生长衬底通过外延方式形成所述预置转换层，所述预置转换层通过外延方式形成功能层。

3.根据权利要求2所述的一种能够回收再利用的衬底，其特征在于，所述功能层通过粘附方式形成粘合层，所述粘合层附接支撑衬底；或者所述功能层通过键合介质结合所述支撑衬底；所述支撑衬底具体为硅衬底、蓝宝石衬底或石英衬底。

4.根据权利要求3所述的一种能够回收再利用的衬底，其特征在于，所述键合介质能够被去光阻剂溶解，所述去光阻剂具体为丙酮。

5.根据权利要求4所述的一种能够回收再利用的衬底，其特征在于，所述键合介质为光阻剂，所述光阻剂具体为有机胶介质。

6.根据权利要求1所述的一种能够回收再利用的衬底，其特征在于，所述预置转换层能够被腐蚀液选择性消除；所述腐蚀液具体为HF或BOE。

7.根据权利要求1～6任一项所述的一种能够回收再利用的衬底，其特征在于，所述生长衬底包括GaAs。

8.根据权利要求1～6任一项所述的一种能够回收再利用的衬底，其特征在于，所述预置转换层包括AlAs。

9.根据权利要求2～6任一项所述的一种能够回收再利用的衬底，其特征在于，所述功能层包括外延层N区、有源区和外延层P区；所述反射衬底包括介质层、银镜和铜衬底，所述介质层包括SiO₂、ITO或Si₃N₄，所述铜衬底厚度范围为70μm～150μm。