[实用新型]一种金属微熔滴喷射装置

权利要求书

1.一种金属微熔滴喷射装置，包括驱动信号波形发生装置虚拟仪器、压电陶瓷换能器、坩埚、加热元件和微压调节阀，其特征在于，还包括振动杆端部、振动杆中部、隔热保护罩、可更换的锥面过渡的圆柱形振动杆端部，可更换的振动杆中部、锥面的坩埚加热底座，锥面连接的装置支撑件，坩埚的外壁面与加热底座的锥形内壁面相配合，加热元件紧紧固定在加热底座的外圆柱面，加热的温度由温度控制器来进行精确控制，加热元件的外围由隔热外套包裹，装置支撑件为隔热材料制成，中间加工有防辐射板；装置支撑件与坩埚和装置上盖之间均为锥面连接，连接部位有密封垫，压电陶瓷换能器安装于装置上盖轴线处，由压电陶瓷上盖板与装置上盖通过螺纹连接方式压紧，装置上盖中设有冷却水腔，通过强制对流换热对压电陶瓷换能器进行冷却，压电陶瓷换能器的驱动信号由虚拟仪器产生信号，通过功率放大器放大后进行驱动，惰性气体气源通过减压阀降压，通过微压调节阀控制坩埚与雾化室之间的微压差，振动杆中部为圆柱形杆，两端加工有外螺纹，与压电陶瓷换能器和振动杆端部的螺纹孔均组成螺纹副，使压电陶瓷换能器、振动杆中部和振动杆端部由螺纹连接形成振动系统，在压电陶瓷换能器和振动杆端部的螺纹孔内有圆柱孔，与振动杆中部外螺纹端部的圆柱形成间隙配合，振动杆端部为锥面过渡的变直径圆柱杆。

2.根据权利要求1所述的金属微熔滴喷射装置，其特征在于，所述坩埚的外壁面为锥面。

3.根据权利要求1所述的金属微熔滴喷射装置，其特征在于，所述加热元件为圆环状的电阻加热圈。