[实用新型]等离子体系统和等离子体装置

权利要求书

1.一种等离子体系统，其特征在于，所述等离子体系统包括：

等离子体装置，所述等离子体装置包括内侧电极和围绕内侧电极同轴布置的外侧电极，其中，内侧电极和外侧电极中的至少一个电极是温度受控的；

可电离介质源，所述可电离介质源被联接到等离子体装置，并被配置成给等离子体装置供给可电离介质；以及

动力源，所述动力源被联接到内侧电极和外侧电极，并被配置成在等离子体装置处触发可电离介质，从而形成等离子体流出物。

2.根据权利要求1所述的等离子体系统，其特征在于，内侧电极和外侧电极中的至少一个电极由金属合金形成，并包括覆盖内侧电极和外侧电极中的所述至少一个电极的至少一部分的介电涂层。

3.根据权利要求1所述的等离子体系统，其特征在于，所述等离子体系统还包括：

冷却剂组件，所述冷却剂组件包括：

供给源，所述供给源被配置成储存冷却剂流体；以及

供给罐，所述供给罐被联接到所述供给源，并被配置成使冷却剂流体循环通过内侧电极和外侧电极中的至少一个电极。

4.根据权利要求3所述的等离子体系统，其特征在于，冷却剂组件还包括温度控制器，所述温度控制器具有被配置成测量温度的温度传感器以及具有冷却器，其中，冷却器被配置成根据所测得的温度维持预定的温度。

5.根据权利要求3所述的等离子体系统，其特征在于，内侧电极具有在其中限定管腔的大致圆柱形管状结构，管腔与冷却剂组件流体连通。

6.根据权利要求3所述的等离子体系统，其特征在于，等离子体装置还包括具有大致圆柱形管状壳体的冷却剂室，圆柱形管状壳体具有被配置成可滑动地设置在外侧电极上的内管腔和被配置成联接到冷却剂组件的冷却剂管腔。

7.根据权利要求6所述的等离子体系统，其特征在于，圆柱形管状壳体包括外壳体和内壳体，从而使冷却剂管腔限定在外壳体和内壳体之间。

8.根据权利要求6所述的等离子体系统，其特征在于，冷却剂管腔具有大致螺旋线圈的形状。

9.一种等离子体装置，所述等离子体装置被配置成接收可电离介质，其特征在于，所述等离子体装置包括：

具有大致圆柱形管状形状的外侧电极；

同轴布置在外侧电极内的内侧电极，内侧电极具有在其中限定管腔的大致圆柱形管状结构，管腔被配置成联接到冷却剂组件；以及

具有大致圆柱形管状壳体的冷却剂室，圆柱形管状壳体具有被配置成可滑动地设置在外侧电极上的内管腔和被配置成联接到冷却剂组件的冷却剂管腔。

10.根据权利要求9的等离子体装置，其特征在于，圆柱形管状壳体包括外壳体和内壳体，从而使冷却剂管腔限定在外壳体和内壳体之间。

11.根据权利要求9的等离子体装置，其特征在于，冷却剂管腔具有大致螺旋线圈的形状。

12.根据权利要求9的等离子体装置，其特征在于，内侧电极和外侧电极中的至少一个电极由金属合金形成，并包括覆盖内侧电极和外侧电极中的所述至少一个电极的至少一部分的介电涂层。

13.根据权利要求12的等离子体装置，其特征在于，介电涂层选自由氧化物、氮化物、自然氧化物和自然氮化物构成的组。

14.根据权利要求12的等离子体装置，其特征在于，金属合金选自由铝合金和钛合金构成的组。

15.一种等离子体系统，其特征在于，所述等离子体系统包括：

等离子体装置，所述等离子体装置包括内侧电极和围绕内侧电极同轴布置的外侧电极，其中，内侧电极和外侧电极中的至少一个电极是温度受控的；

可电离介质源，所述可电离介质源被联接到等离子体装置，并被配置成给等离子体装置供给可电离介质；

动力源，所述动力源被联接到内侧电极和外侧电极，并被配置成在等离子体装置处触发可电离介质，从而形成等离子体流出物；以及

冷却剂组件，所述冷却剂组件包括：

供给源，所述供给源被配置成储存冷却剂流体；以及

供给罐，所述供给罐被联接到所述供给源，并被配置成使冷却剂流体循环通过内侧电极和外侧电极中的至少一个电极。