[实用新型]多晶硅连铸设备有效
| 申请号: | 201420052177.1 | 申请日: | 2014-01-27 |
| 公开(公告)号: | CN203782268U | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
| 发明(设计)人: | 郝海;李沐益;胡艳 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 大连非凡专利事务所 21220 | 代理人: | 曲宝威 |
| 地址: | 116000 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 多晶 硅连铸 设备 | ||
1.一种多晶硅连铸设备,其特征在于:包括机架(1),在机架(1)的上部自上至下依次设有加热机构、结晶器、二次冷却器和拉坯机构。
2.根据权利要求1所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的加热机构包括外围设有第一感应线圈(5)的石墨坩埚(6),在石墨坩埚(6)的底部固定连接有隔热底板(8),在隔热底板(8)与石墨坩埚(6)之间夹持有浸入式水口(9),浸入式水口(9)内孔与石墨坩埚(6)的内腔通过石墨坩埚(6)底部的下料孔(7)连通并下端通向下方的结晶器的内腔。
3.根据权利要求2所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的结晶器包括固定在机架(1)上的与供水装置相接的第一冷却水箱(12),结晶器铜管(11)位于第一冷却水箱(12)的中心并与第一冷却水箱(12)固定连接,在结晶器铜管(11)内侧设有石墨套(10),所述的石墨套(10)镶嵌于结晶器铜管(11)的内侧上部或自上而下贯穿于结晶器铜管(11)内侧的全部或自上而下贯穿于结晶器铜管(11)内侧的全部后向上伸出并在上部纵向开设有多个切缝(33),在切缝(33)的外侧设有第二感应线圈(32)。
4.根据权利要求3所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的二次冷却器包括与供水装置相接的第二冷却水箱(16),第二冷却水箱(16)的中部有物料下行通道(17),第二冷却水箱(16)的内侧壁上分布有多个喷水孔(18)。
5.根据权利要求4所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的拉坯机构包括底板(23),在底板(23)上设有导向套(31),机架(1)上固定有竖直的与导向套(31)相配的导向杆(24),在机架(1)上通过轴承竖直安装有丝杆(25),在底板(23)上固定有与丝杆(25)相配的丝母(30),丝杆(25)接旋转驱动机构;在底板(23)中部通过底托杆(22)固定有底座(21),在底座(21)上方固定连接有横向设置的引锭头(20)。
6.根据权利要求5所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的旋转驱动机构包括电机(28),电机(28)的输出轴与驱动轴(27)之间有传动带或传动链,驱动轴(27)水平设置并通过轴承支撑在机架(1)上,驱动轴(27)与所述的丝杆(25)之间设锥齿轮传动机构。
7.根据权利要求6所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的第二冷却水箱(16)的边沿通过多个沿圆周分布的高度调整件(29)与机架(1)上面相连接。
8.根据权利要求7所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的石墨坩埚(6)内设有封堵下料孔(7)的塞棒(4)。
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