[实用新型]多晶硅连铸设备有效

专利信息
申请号: 201420052177.1 申请日: 2014-01-27
公开(公告)号: CN203782268U 公开(公告)日: 2014-08-20
发明(设计)人: 郝海;李沐益;胡艳 申请(专利权)人: 大连理工大学
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 大连非凡专利事务所 21220 代理人: 曲宝威
地址: 116000 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 多晶 硅连铸 设备
【权利要求书】:

1.一种多晶硅连铸设备,其特征在于:包括机架(1),在机架(1)的上部自上至下依次设有加热机构、结晶器、二次冷却器和拉坯机构。

2.根据权利要求1所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的加热机构包括外围设有第一感应线圈(5)的石墨坩埚(6),在石墨坩埚(6)的底部固定连接有隔热底板(8),在隔热底板(8)与石墨坩埚(6)之间夹持有浸入式水口(9),浸入式水口(9)内孔与石墨坩埚(6)的内腔通过石墨坩埚(6)底部的下料孔(7)连通并下端通向下方的结晶器的内腔。

3.根据权利要求2所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的结晶器包括固定在机架(1)上的与供水装置相接的第一冷却水箱(12),结晶器铜管(11)位于第一冷却水箱(12)的中心并与第一冷却水箱(12)固定连接,在结晶器铜管(11)内侧设有石墨套(10),所述的石墨套(10)镶嵌于结晶器铜管(11)的内侧上部或自上而下贯穿于结晶器铜管(11)内侧的全部或自上而下贯穿于结晶器铜管(11)内侧的全部后向上伸出并在上部纵向开设有多个切缝(33),在切缝(33)的外侧设有第二感应线圈(32)。

4.根据权利要求3所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的二次冷却器包括与供水装置相接的第二冷却水箱(16),第二冷却水箱(16)的中部有物料下行通道(17),第二冷却水箱(16)的内侧壁上分布有多个喷水孔(18)。

5.根据权利要求4所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的拉坯机构包括底板(23),在底板(23)上设有导向套(31),机架(1)上固定有竖直的与导向套(31)相配的导向杆(24),在机架(1)上通过轴承竖直安装有丝杆(25),在底板(23)上固定有与丝杆(25)相配的丝母(30),丝杆(25)接旋转驱动机构;在底板(23)中部通过底托杆(22)固定有底座(21),在底座(21)上方固定连接有横向设置的引锭头(20)。

6.根据权利要求5所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的旋转驱动机构包括电机(28),电机(28)的输出轴与驱动轴(27)之间有传动带或传动链,驱动轴(27)水平设置并通过轴承支撑在机架(1)上,驱动轴(27)与所述的丝杆(25)之间设锥齿轮传动机构。

7.根据权利要求6所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的第二冷却水箱(16)的边沿通过多个沿圆周分布的高度调整件(29)与机架(1)上面相连接。

8.根据权利要求7所述的多晶硅连铸设备,其特征在于:所述的石墨坩埚(6)内设有封堵下料孔(7)的塞棒(4)。

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