[实用新型]一种高效光栅尺检测平台

权利要求书

1.一种高效光栅尺检测平台，其特征在于：其包括减振台、运动平台、治具(10)，减振台含基座(1)及布置在基座(1)底部的四个减振器(12)，运动平台包括直线电机Ⅰ(3)、直线电机Ⅱ(14)、滑块(5)、导轨(6)、高精位移传感器(8)、飞车保护(18)和工作拖板(7)；被测光栅尺包括被测光栅尺读数头(13)和被测光栅尺带(11)；直线电机Ⅰ(3)的定子、直线电机Ⅱ(14)的定子、导轨(6)布置在基座(1)上，直线电机Ⅰ(3)、直线电机Ⅱ(14)位于导轨(6)的两侧且平行设置；直线电机Ⅰ(3)的动子与连接件Ⅰ(4)连接，直线电机Ⅱ(14)的动子与连接件Ⅱ(15)连接，连接件Ⅰ(4)、连接件Ⅱ(15)和滑块(5)均与工作拖板(7)连接；所述的滑块(5)为两个，连接在导轨(6)上，沿着导轨(6)滑动；在基座(1)的一侧连接有导轨Ⅱ(16)，导轨Ⅱ(16)与导轨(6)平行设置；导轨Ⅱ(16)上连接有两个冶具(10)；被测光栅尺读数头(13)通过读数头连接件(17)与工作拖板(7)连接为一体，被测光栅尺带(11)与所述的两个冶具(10)连接，直线电机Ⅰ(3)的动子和直线电机Ⅱ(14)的动子驱动工作拖板(7)沿着导轨(6)往复运动，被测光栅尺读数头(13)随着工作拖板(7)往复运动。 

2.根据权利要求1所述的一种高效光栅尺检测平台，其特征在于：高精位移传感器(8)采用绝对式高精度光栅尺。 

3.根据权利要求1所述的一种高效光栅尺检测平台，其特征在于：治具(10)沿着导轨Ⅱ(16)调节位置，并且治具(10)稳固定位于导轨Ⅱ(16)上的任意位置，治具(10)适用于装夹导轨Ⅱ(16)长度范围内任意长度等级的被测光栅尺带(11)。