[实用新型]一种磨削碳化硅晶体端面的装置有效
| 申请号： | 201420046844.5 | 申请日： | 2014-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN203650165U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 张健;柏文文;任启磊;高辉;高玉强 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B7/16 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250000 山东省济南市历下*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磨削 碳化硅 晶体 端面 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种磨削碳化硅晶体端面的装置，包括基座（11），其特征在于：所述的基座（11）上设置有晶体定位油缸和砂轮修整定位油缸（5），所述基座（11）两侧还设置有支撑板（10），所述的支撑板（10）上活动连接有晶体安装定位平板（12）。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的晶体定位油缸顶端设置有磁力吸盘（13）。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的晶体安装定位平板（12）通过快速链接销固定在基座两侧的支撑板（10）上。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的基座（11）中心设置砂轮修整定位油缸（5），在其周围呈正方形或圆形均匀分布有晶体定位油缸。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的晶体定位油缸并联在同一油路上，所述的砂轮修整定位油缸单独连接在另一油路上。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述晶体定位油缸的主供油管路上设置有压力传感器和电磁阀；每个定位油缸的供油管路上均安装有液控自锁紧装置。
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