[实用新型]基于线阵CCD的光栅位移传感器

权利要求书

1.一种基于线阵CCD的光栅位移传感器，其特征在于它包括：壳体，在壳体内设置有发出光线的光源，在光源的后方固设有用于将光源发出的光转换成平行光的透镜，在透镜的后方固设有光栅缝宽度可变的光栅机构，所述光栅机构后方固设有用于检测光栅机构衍射图像的线阵CCD模块；

在壳体上设有通过自身转动改变光栅机构的光栅缝宽度的轮轴，所述轮轴通过连接线与被测位移的物体相连；

还包括用于从外界引入电源的传送模块，所述传送模块连接内部线阵CCD模块与外部的上位机。

2.根据权利要求1所述的基于线阵CCD的光栅位移传感器，其特征在于：所述光栅机构包括只有一条光栅条纹的单缝光栅，以及带有至少两个光栅条纹的光栅轮，所述光栅轮固设于透镜的后方，单缝光栅固设于光栅轮的后方，所述光栅轮的光栅条纹的宽度与单缝光栅的光栅条纹宽度相等，且光栅轮与轮轴同轴转动。

3.根据权利要求1或2所述的基于线阵CCD的光栅位移传感器，其特征在于：线阵CCD模块包括作为控制中心的单片机系统，用于接收光栅机构衍射图像的线阵CCD，所述线阵CCD的信号输出端通过信号处理模块连接单片机系统的信号输出端。

4.根据权利要求3所述的基于线阵CCD的光栅位移传感器，其特征在于：所述信号处理模块包括CCD驱动电路，与二值化处理电路，所述线阵CCD的信号输出端通过CCD驱动电路连接二值化处理电路的信号输入端，二值化处理电路的信号输出端连接单片机系统。

5.根据权利要求4所述的基于线阵CCD的光栅位移传感器，其特征在于：所述单片机系统包括作为主控单元的单片机，所述单片机的采集信号输入端连接二值化处理电路，电源端连接电源模块，信号通信端通过RS485连接传送模块，显示信号输出端连接显示模块。

6.根据权利要求1、2、4、5中任意一项所述的基于线阵CCD的光栅位移传感器，其特征在于：所述传送模块采用航空接头，所述航空接头贯穿壳体内外固设于壳体上。

7.根据权利要求3所述的基于线阵CCD的光栅位移传感器，其特征在于：所述传送模块采用航空接头，所述航空接头贯穿壳体内外固设于壳体上。

8.根据权利要求1、2、4、5、7中任意一项所述的基于线阵CCD的光栅位移传感器，其特征在于：所述壳体上设有用于将壳体固定的固定孔。

9.根据权利要求3所述的基于线阵CCD的光栅位移传感器，其特征在于：所述壳体上设有用于将壳体固定的固定孔。

10.根据权利要求6所述的基于线阵CCD的光栅位移传感器，其特征在于：所述壳体上设有用于将壳体固定的固定孔。