[实用新型]一种高频大功率碳化硅MOSFET模块有效

专利信息
申请号: 201420045476.2 申请日: 2014-01-24
公开(公告)号: CN203746828U 公开(公告)日: 2014-07-30
发明(设计)人: 刘志宏 申请(专利权)人: 嘉兴斯达微电子有限公司
主分类号: H01L23/36 分类号: H01L23/36;H01L23/492;H01L23/04
代理公司: 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 代理人: 翁霁明
地址: 314006 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 高频 大功率 碳化硅 mosfet 模块
【权利要求书】:

1.一种高频大功率碳化硅MOSFET模块,它包括散热基板、壳体,封装于壳体内的电路结构,壳体包括外壳和盖于外壳上的外盖,电路结构包括功率端子、信号端子、绝缘陶瓷基板、碳化硅mosfet芯片、碳化硅SBD芯片; 其特征在于所述绝缘陶瓷基板(9)通过高温回流焊接到散热基板(1)上,在绝缘陶瓷基板(9)上焊接有碳化硅mosfet芯片(10)和碳化硅SBD芯片(12、13),碳化硅mosfet芯片(10)、碳化硅SBD芯片(12、13)与绝缘陶瓷基板(9)上刻蚀的电路结构连接起来,并通过铝线将碳化硅mosfet芯片(10)、碳化硅SBD芯片(12、13)相互之间连接起来,至少三个功率端子(6)焊接在绝缘陶瓷基板(9)的对应位置上。

2.根据权利要求1所述的高频大功率碳化硅MOSFET模块,其特征在于壳体包括外壳(2)和盖于外壳上的外盖(3),所述外壳(2)通过密封胶与散热基板(1)的外侧部分粘结在一起,壳体内部灌有硅凝胶,所述外盖(3)和外壳(2)之间通过螺丝紧固在一起。

3.根据权利要求1或2所述的高频大功率碳化硅MOSFET模块,其特征在于所述壳体内部封装的电路结构包含半桥电路结构,包括抑制mosfet体二极管形式和利用mosfet体二极管两种形式;所述半桥电路结构有三个功率端子(6)引出壳体外部,所述碳化硅mosfet芯片(10)上串联一片碳化硅SBD芯片(12),另在两者旁边反并联一片碳化硅SBD芯片(13),所述碳化硅mosfet芯片和碳化硅SBD芯片的栅极均串接一片以改善各并联芯片之间动态均流的贴片电阻。

4.根据权利要求3所述的高频大功率碳化硅MOSFET模块,其特征在于所述碳化硅mosfet芯片(10)和碳化硅SBD芯片(12、13)的上表面之间采用铝线键合,碳化硅mosfet芯片(10)和碳化硅SBD芯片(12、13)对绝缘陶瓷基板(9)的焊接采用PbSnAg或SnAu高温焊料;所述绝缘陶瓷基板(9)采用SnAgCu或SnAg焊料与散热基板(1)焊接;所述绝缘陶瓷基板(9)上灌有玻璃化温度超过200度的硅凝胶,灌封的硅凝胶高度以将所有键合铝线浸没为准。

5.根据权利要求3所述的高频大功率碳化硅MOSFET模块,其特征在于所述功率端子(6)在模块外盖以上部分折成90度,外盖(3)对应功率端子折弯后的安装孔处嵌有安装螺母;所述功率端子(6)顶部与壳体内的散热基板(1)底部距离,即模块的总高在15-18mm。

6.根据权利要求3所述的高频大功率碳化硅MOSFET模块,其特征在于所述壳体内焊接有两块或四块绝缘陶瓷基板(9),所述绝缘陶瓷基板(9)为三层结构,上下层均为高导无氧铜,中间层为Al2O3或AlN或Si3N4陶瓷层,该陶瓷层在将功率芯片产生的热量传到模块底部散热基板(1)的同时,提供模块内部的电气部件对散热基板(1)的绝缘,该绝缘陶瓷基板(9)上刻蚀有可提供功率芯片之间互联的电路。

7.根据权利要求6所述的高频大功率碳化硅MOSFET模块,其特征在于所述壳体的外壳(2)上设置有用于安装信号端子的嵌孔,同时在外壳(2)的四侧设置有用于和外盖通过螺丝紧固的螺母孔(14)。

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