[实用新型]全自动标准气体配制装置

权利要求书

1.一种全自动标准气体配制装置，其特征是，它包括高压底气管路、标准气体配气瓶、恒温室、原料气管路和真空泵，所述恒温室内设六通阀和定量管，所述高压底气管路、标准气体配气瓶、原料气管路、定量管和真空泵与六通阀并联连接，所述高压底气管路和标准气体配气瓶串联，所述标准气体配气瓶进气端设压力传感器，所述原料气管路上设质量流量计，压力传感器和质量流量计的输出端分别与计算机并联连接，所述高压底气管路和原料气管路上均设电磁阀，电磁阀通过所述计算机控制, 所述标准气体配气瓶采用气缸，标准气体配气瓶上部设直线电机，直线电机的输出端与标准气体配气瓶的活塞端固定连接，标准气体配气瓶底部的出气端经设有电磁阀的气管与六通阀82阀口连接。

2.如权利要求1所述全自动标准气体配制装置，其特征是，所述六通阀86、85阀口对应连接定量管两端。

3.如权利要求1所述全自动标准气体配制装置，其特征是，所述六通阀81阀口与高压底气管路连接，来气方向的高压底气管路上依次设电磁阀F1和电磁阀F2。

4.如权利要求1所述全自动标准气体配制装置，其特征是，所述电磁阀F1和电磁阀F2之间段的高压底气管路上设分支高压底气管路，分支高压底气管路的出气端与六通阀82阀口连接，来气方向的分支高压底气管路上依次设电磁阀F3和电磁阀F4。

5.如权利要求1所述全自动标准气体配制装置，其特征是，所述电磁阀F3和电磁阀F4之间段的高压底气管路上设下分支高压底气管路，下分支高压底气管路的出气端与标准气体配气瓶进气端连接，两者的连接处位于标准气体配气瓶中活塞的下方，来气方向的下分支高压底气管路上依次设电磁阀F5和压力传感器。

6.如权利要求1所述全自动标准气体配制装置，其特征是，所述六通阀84阀口与真空泵相连接，两者连接的气管上设电磁阀F7。

7.如权利要求1或5所述全自动标准气体配制装置，其特征是，所述电磁阀F3和电磁阀F4之间段的高压底气管路上设含电磁阀F6的上支高压底气管路，上分支高压底气管路的出气端设置在所述电磁阀F7和真空泵之间的气管上。

8.如权利要求1所述全自动标准气体配制装置，其特征是，所述原料气管路的出气端与六通阀83阀口连接，来气方向的原料气管路上依次设质量流量计和电磁阀F8。

9.如权利要求1或8所述全自动标准气体配制装置，其特征是，所述原料气管路至少设置为2路。