[实用新型]脉冲磁场电弧蒸发源有效
| 申请号： | 201420030254.3 | 申请日： | 2014-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN203668500U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李飞;李兰民 | 申请（专利权）人： | 遵化市超越钛金设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 唐山永和专利商标事务所 13103 | 代理人： | 张云和 |
| 地址： | 064200 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 脉冲 磁场 电弧 蒸发 | ||
【权利要求书】：
1.一种脉冲磁场电弧蒸发源，包括引弧机构、靶块、水冷靶座、磁性元件，其特征在于，所述磁性元件包括电磁线圈和磁轭，电磁线圈由脉冲电源供电，产生脉冲磁场，磁性元件设置有电磁屏蔽套，磁性元件与水冷靶座之间设置有冷却水套。
2.根据权利要求1所述的脉冲磁场电弧蒸发源，其特征在于，所述磁性元件通过其外套体装配在水冷靶座内，所外套体与水冷靶座内壁之间构成与冷却水管连接的冷却水套。
3.根据权利要求1所述的脉冲磁场电弧蒸发源，其特征在于，所述电磁屏蔽套与水冷靶座外端通过法兰结构连接，电磁屏蔽套上设置有电磁线圈与脉冲电源连接的接线端子。
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