[实用新型]一种去除多晶硅中磷和硼的装置有效
| 申请号： | 201420016083.9 | 申请日： | 2014-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN203741050U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 罗立国;方红承;彭金鑫;母清林;周冰 | 申请（专利权）人： | 黑河合盛光伏科技有限公司;浙江合盛硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 沈自军 |
| 地址： | 164399 黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 去除 多晶 硅中磷 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种去除多晶硅中磷和硼的装置，包括真空室以及设于真空室内的石墨坩埚，所述石墨坩埚内部安装有旋转通气机构，其特征在于，所述旋转通气机构由竖直设置作为转轴的进气管以及若干同心布置的环形管组成，所述进气管通过环形管的中心，并与所有的环形管交叉连通，每根环形管的管壁均开设有出气孔。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述环形管为方形。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所有环形管处于同一平面内。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，以进气管为分界线，所述环形管两个部分进气孔处于不同侧面。
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，相邻环形管所在的平面之间具有30～120°的夹角。
6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述环形管有3～6根。
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