[发明专利]使用转印膜的三维衬底成像

权利要求书

1.一种方法，所述方法包括：

a.选择性地将包括一种或多种蜡，一种或多种不含酸基的丙烯酸酯官能单体和一种或多种自由基光引发剂的抗蚀剂组合物喷墨到邻近光化辐射透明柔性膜的第一表面；

b.将带有抗蚀剂组合物的光化辐射透明柔性膜施加到三维衬底的表面，带有抗蚀剂组合物的光化辐射透明柔性膜的第一表面邻近三维衬底的表面，并且光化辐射透明柔性膜跟随三维衬底的表面的轮廓；

c.向与带有抗蚀剂组合物的第一表面相对的光化辐射透明柔性膜的第二表面上施加光化辐射，以固化抗蚀剂组合物；和

d.将光化辐射透明柔性膜从固化的抗蚀剂组合物上分离，固化的组合物粘附到三维衬底的表面上。

2.根据权利要求1的方法，进一步包括三维衬底的刻蚀部分没有被固化的抗蚀剂组合物覆盖。

3.根据权利要求2的方法，进一步包括在三维衬底的没有覆盖固化抗蚀剂组合物的刻蚀部分上镀覆金属。

4.根据权利要求1的方法，进一步包括使用pH为8或以上的碱将固化的抗蚀剂组合物从三维衬底上剥离。

5.根据权利要求1的方法，其中所述光化辐射透明柔性膜为聚合物，所述聚合物选自聚乙烯醇、聚酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚烯烃、聚碳酸酯、聚丙烯酸酯和乙酸-乙烯乙烯酯。

6.根据权利要求1的方法，其中所述不含酸基的一种或多种丙烯酸酯官能单体选自非芳香族环(烷基)丙烯酸酯。

7.根据权利要求6的方法，其中所述非芳香族环(烷基)丙烯酸酯选自具有桥接骨架的单环、双环、三环和四环脂环族(烷基)丙烯酸酯，和不含桥接骨架的脂环族烃基。

8.根据权利要求1的方法，其中所述一种或多种蜡选自酸数为0mgKOH/g或以上的蜡。

9.根据权利要求8的方法，其中一种或多种酸数为0mgKOH/g或以上的蜡选自小烛树蜡、石蜡、酯化褐煤蜡、地蜡、纯地蜡、合成烃蜡、褐煤蜡、羧酸封端的聚乙烯蜡、具有功能性羧酸端部的线性饱和脂肪族蜡和氢化蜡。

10.根据权利要求1的方法，其中所述三维衬底为固体滚筒、空心滚筒、圆锥、三角形物体、椭圆或多面物体。